| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 插图和附表清单 | 第7-9页 |
| 1 引言 | 第9-15页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 研究现状 | 第10-12页 |
| 1.3 课题研究的意义 | 第12-14页 |
| 1.4 课题研究的主要内容 | 第14-15页 |
| 2 多晶硅圆柱锭外圆磨削加工装备整体结构的设计 | 第15-22页 |
| 2.1 多晶硅圆柱锭外圆磨削加工装备的理论计算 | 第15-19页 |
| 2.1.1 砂轮型号的选择及磨削用量的计算 | 第16页 |
| 2.1.2 切削工时的计算 | 第16-17页 |
| 2.1.3 磨削力和磨削功率的计算 | 第17-18页 |
| 2.1.4 夹紧力的计算 | 第18-19页 |
| 2.2 多晶硅圆柱锭外圆磨削加工装备定位方案的确定 | 第19-20页 |
| 2.3 多晶硅圆柱锭外圆磨削加工装备夹紧方案的确定 | 第20-22页 |
| 3 多晶硅圆柱锭外圆磨削加工装备具体结构的设计 | 第22-29页 |
| 3.1 夹紧执行元件的设计 | 第22-23页 |
| 3.2 支撑钉的设计 | 第23-24页 |
| 3.3 V型块的设计 | 第24-28页 |
| 3.4 对机床的改造 | 第28-29页 |
| 4 液压系统的设计 | 第29-32页 |
| 4.1 液压回路方案的制定 | 第29-30页 |
| 4.2 拟定液压系统原理图 | 第30-32页 |
| 5 有限元分析 | 第32-44页 |
| 5.1 有限元与ANSYS的简介 | 第32页 |
| 5.2 ANSYS分析过程 | 第32-44页 |
| 5.2.1 油缸安装架的有限元分析 | 第33-36页 |
| 5.2.2 球头轴的有限元分析 | 第36-40页 |
| 5.2.3 调节支撑钉的有限元分析 | 第40-44页 |
| 6 多晶硅圆柱锭外圆磨削加工装备样机安装调试 | 第44-46页 |
| 6.1 设备的安装与调试 | 第44-46页 |
| 6.2 多晶硅圆柱锭外圆磨削加工装备的工作原理 | 第46页 |
| 7 结论与改进建议 | 第46-47页 |
| 7.1 结论 | 第46页 |
| 7.2 改进意见 | 第46-47页 |
| 致谢 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-50页 |
| 作者简介 | 第50页 |