| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| Chapter 1 Introduction | 第9-17页 |
| 1.1 Introduction | 第9-10页 |
| 1.1.1 Scope of the thesis | 第9页 |
| 1.1.2 Problem Statement | 第9页 |
| 1.1.3 Aims & Objectives | 第9-10页 |
| 1.2 Application background of pressure sensor | 第10-13页 |
| 1.2.1 Change in Resistance | 第10页 |
| 1.2.2 Direction Dependent Change in Resistance | 第10-11页 |
| 1.2.3 Change in conductivity of resistance | 第11页 |
| 1.2.4 Piezoelectricity | 第11页 |
| 1.2.5 Monitor strain in stressed membrane | 第11页 |
| 1.2.6 Large Conductivity change | 第11-12页 |
| 1.2.7 Silicon Strain Gauge | 第12页 |
| 1.2.8 Integrated Device | 第12页 |
| 1.2.9 Three-dimensional micromachining | 第12-13页 |
| 1.3 Development | 第13页 |
| 1.4 Classification of high pressure sensor | 第13-14页 |
| 1.4.1 Polycrystalline silicon high pressure sensor | 第13-14页 |
| 1.4.2 SOS (Silicon on Sapphire) high pressure sensor | 第14页 |
| 1.4.3 SiC (Silicon carbide) high pressure sensor | 第14页 |
| 1.4.4 Diamond film high pressure sensor | 第14页 |
| 1.4.5 Capacitive high pressure sensor | 第14页 |
| 1.4.6 Optical fiber high pressure sensor | 第14页 |
| 1.5 Practical application of high pressure sensor | 第14-15页 |
| 1.5.1 Pressure monitoring | 第15页 |
| 1.5.2 Pressure measurement | 第15页 |
| 1.5.3 Pressure control | 第15页 |
| 1.6 Sensitivity | 第15页 |
| 1.7 Non-linearity | 第15-16页 |
| 1.8 Thesis organization | 第16-17页 |
| Chapter 2 Theoretical analysis of pressure sensor | 第17-27页 |
| 2.1 Introduction | 第17页 |
| 2.2 Piezoresistive effect | 第17-19页 |
| 2.3 Working principle of SOI piezoresistive pressure sensor | 第19-21页 |
| 2.4 Mechanical analysis and modeling of the pressure sensor | 第21-27页 |
| 2.4.1 Theoretical analysis of thin membrane deflection | 第21页 |
| 2.4.2 Thin membrane deflection and stress analysis | 第21-27页 |
| Chapter 3 Simulation and Discussion | 第27-37页 |
| 3.1 Introduction | 第27页 |
| 3.2 Simulation and discussion of the piezoresistive pressure sensor | 第27-37页 |
| 3.2.1 Simulation of the displacement and stress distribution of the movable membrane | 第27-31页 |
| 3.2.2 Simulation of the output voltage of the Wheatstone bridge | 第31-34页 |
| 3.2.3 Variations of the above when the temperature changes | 第34-37页 |
| Chapter 4 Conclusion | 第37-39页 |
| Acknowledgements | 第39-41页 |
| Dedication | 第41-43页 |
| References | 第43-47页 |
| Figures | 第47-49页 |
| Tables | 第49-51页 |
| Author Bibliography | 第51页 |
