| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 透明导电薄膜简介 | 第9-13页 |
| 1.1.1 透明导电薄膜的种类和研究现状 | 第9-11页 |
| 1.1.2 透明导电薄膜的应用 | 第11-13页 |
| 1.2 金属夹层结构透明导电薄膜简介 | 第13-18页 |
| 1.2.1 金属夹层结构透明导电薄膜设计的理论基础 | 第14-16页 |
| 1.2.2 金属夹层透明导电薄膜的研究现状 | 第16-18页 |
| 1.3 本论文的选题依据与研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 实验设备和测试与表征技术 | 第19-27页 |
| 2.1 实验设备 | 第19-21页 |
| 2.1.1 磁控溅射镀膜机 | 第19-20页 |
| 2.1.2 等离子体清洗机 | 第20-21页 |
| 2.2 测试与表征技术 | 第21-27页 |
| 2.2.1 霍尔测试 | 第21-22页 |
| 2.2.2 吸收光谱测试 | 第22-23页 |
| 2.2.3 原子力显微镜测试 | 第23页 |
| 2.2.4 扫描电子显微镜测试 | 第23-24页 |
| 2.2.5 透射电子显微镜测试 | 第24页 |
| 2.2.6 接触角测试 | 第24-25页 |
| 2.2.7 X射线衍射测试 | 第25-26页 |
| 2.2.8 X射线光电子能谱测试 | 第26-27页 |
| 第三章 氧等离子体处理对Ag层形貌影响及其机理分析 | 第27-34页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 氧等离子体处理底层AZO对Ag层表面形貌的影响 | 第27-30页 |
| 3.2.1 AZO/Ag薄膜的制备 | 第27页 |
| 3.2.2 氧等离子体对Ag层形貌的影响 | 第27-30页 |
| 3.3 氧等离子体处理底层AZO影响Ag层表面形貌的机理分析 | 第30-32页 |
| 3.3.1 接触角测试 | 第30-31页 |
| 3.3.2 AFM粘附力测试 | 第31-32页 |
| 3.3.3 XPS测试 | 第32页 |
| 3.4 氧等离子体处理AZO表面形貌的影响 | 第32-33页 |
| 3.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 AZO/Ag/AZO薄膜的制备和其光电性质的改善研究 | 第34-45页 |
| 4.1 引言 | 第34页 |
| 4.2 氧等离子体处理及Ag层厚度对AZO/Ag/AZO薄膜光电性质影响的研究 | 第34-40页 |
| 4.2.1 AZO/Ag/AZO薄膜的制备 | 第34-35页 |
| 4.2.2 氧等离子体处理及Ag层厚度对AZO/Ag/AZO薄膜光学性质的影响 | 第35-37页 |
| 4.2.3 氧等离子体处理及Ag层厚度对AZO/Ag/AZO薄膜电学性质的影响 | 第37-39页 |
| 4.2.4 氧等离子体处理及Ag层厚度对AZO/Ag/AZO薄膜晶体质量的影响 | 第39-40页 |
| 4.3 顶层AZO厚度对AZO/Ag/AZO薄膜光电性质影响的研究 | 第40-43页 |
| 4.3.1 顶层AZO厚度对AZO/Ag/AZO薄膜光学性质影响的研究 | 第40-42页 |
| 4.3.2 顶层AZO厚度对AZO/Ag/AZO薄膜电学性质影响的研究 | 第42-43页 |
| 4.4 本章小结 | 第43-45页 |
| 第五章 AZO/Ag/AZO薄膜低辐射性能、柔性和电加热性能的测试研究 | 第45-52页 |
| 5.1 引言 | 第45页 |
| 5.2 AZO/Ag/AZO薄膜的低辐射性能测试 | 第45-47页 |
| 5.3 AZO/Ag/AZO薄膜的柔性测试 | 第47-49页 |
| 5.4 AZO/Ag/AZO薄膜的电加热性能测试 | 第49-51页 |
| 5.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第六章 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第61页 |
