| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-11页 |
| 第1章 绪论 | 第15-40页 |
| 1.1 研究背景 | 第15-16页 |
| 1.2 湿度及湿度传感器概述 | 第16-19页 |
| 1.2.1 湿度的定义 | 第16-17页 |
| 1.2.2 湿度传感器概述 | 第17-19页 |
| 1.3 国内外湿敏材料及湿度传感器研究状况 | 第19-31页 |
| 1.3.1 电阻型湿度传感器研究进展 | 第19-23页 |
| 1.3.2 电容型湿度传感器研究进展 | 第23-26页 |
| 1.3.3 质量敏感型湿度传感器研究进展 | 第26-27页 |
| 1.3.4 MEMS湿度传感器研究进展 | 第27-30页 |
| 1.3.5 当前湿度传感器研究面临的技术难题与挑战 | 第30-31页 |
| 1.4 石墨烯基材料在气湿敏传感器上的应用现状 | 第31-37页 |
| 1.4.1 石墨烯和还原氧化石墨烯材料在气湿敏传感器上的应用 | 第32-36页 |
| 1.4.2 氧化石墨烯材料在气湿敏传感器上的应用 | 第36-37页 |
| 1.5 论文的主要工作 | 第37-40页 |
| 第2章 石墨烯及氧化石墨烯基础理论 | 第40-52页 |
| 2.1 石墨烯基础理论 | 第41-44页 |
| 2.1.1 石墨烯结构及特性 | 第41-42页 |
| 2.1.2 石墨烯的制备方法 | 第42-44页 |
| 2.2 氧化石墨烯基础理论 | 第44-51页 |
| 2.2.1 氧化石墨烯结构 | 第44-46页 |
| 2.2.2 氧化石墨烯的基本特性 | 第46-50页 |
| 2.2.3 氧化石墨烯的制备方法 | 第50-51页 |
| 2.3 本章小节 | 第51-52页 |
| 第3章 氧化石墨烯的电学湿敏特性及其机制研究 | 第52-77页 |
| 3.1 氧化石墨烯的制备与表征 | 第52-56页 |
| 3.1.1 氧化石墨烯制备 | 第52-53页 |
| 3.1.2 氧化石墨烯表征 | 第53-56页 |
| 3.2 氧化石墨烯修饰的叉指电极的制备及测试系统 | 第56-59页 |
| 3.2.1 氧化石墨烯修饰的叉指电极的制备 | 第56-58页 |
| 3.2.2 GO电学湿敏特性研究所采用的测试系统 | 第58-59页 |
| 3.3 不同环境湿度条件下GO的交流复阻抗测试研究 | 第59-72页 |
| 3.3.1 交流复阻抗分析法介绍 | 第59-62页 |
| 3.3.2 不同环境湿度条件下GO的复阻抗特性 | 第62-65页 |
| 3.3.3 GO的电学湿度敏感机制讨论 | 第65-69页 |
| 3.3.4 基于GO薄膜的阻抗式湿度传感器的性能研究 | 第69-72页 |
| 3.4 不同环境湿度及加载电压条件下GO的Ⅰ-Ⅴ特性研究 | 第72-75页 |
| 3.4.1 低加载电压情况下GO的Ⅰ-Ⅴ特性 | 第72-73页 |
| 3.4.2 高加载电压情况下GO的Ⅰ-Ⅴ特性 | 第73-75页 |
| 3.5 本章小结 | 第75-77页 |
| 第4章 氧化石墨烯薄膜修饰QCM湿度传感器研究 | 第77-99页 |
| 4.1 QCM传感器简介 | 第77-81页 |
| 4.1.1 QCM的工作原理 | 第77-78页 |
| 4.1.2 QCM的检测方式 | 第78-81页 |
| 4.2 GO薄膜修饰QCM湿度传感器研究 | 第81-90页 |
| 4.2.1 GO薄膜修饰QCM湿度传感器制备 | 第81-82页 |
| 4.2.2 QCM湿度传感器测试系统 | 第82-84页 |
| 4.2.3 GO薄膜修饰QCM传感器湿敏性能研究 | 第84-90页 |
| 4.3 GO薄膜修饰QCM湿度传感器在不同湿度条件下的阻抗特性研究 | 第90-98页 |
| 4.3.1 GO薄膜修饰QCM传感器与聚合物修饰QCM传感器制备 | 第92-93页 |
| 4.3.2 不同湿度条件下传感器的阻抗特性研究 | 第93-98页 |
| 4.4 本章小结 | 第98-99页 |
| 第5章 基于氧化石墨烯的MEMS湿度传感器研究 | 第99-112页 |
| 5.1 硅压阻微桥的结构组成 | 第100-103页 |
| 5.2 基于GO的MEMS湿度传感器制备及测试系统 | 第103-104页 |
| 5.3 基于GO的MEMS湿度传感器的湿敏性能研究 | 第104-109页 |
| 5.3.1 灵敏度响应 | 第104-105页 |
| 5.3.2 传感器响应及恢复特性 | 第105-106页 |
| 5.3.3 湿滞特性及重复性 | 第106-108页 |
| 5.3.4 温度影响 | 第108页 |
| 5.3.5 具有不同GO涂层厚度的MEMS湿度传感器的湿敏特性 | 第108-109页 |
| 5.4 基于GO的MEMS湿度传感器的湿度敏感机制讨论 | 第109-111页 |
| 5.5 本章小结 | 第111-112页 |
| 第6章 结论与展望 | 第112-115页 |
| 6.1 本文结论 | 第112-114页 |
| 6.2 未来工作展望 | 第114-115页 |
| 致谢 | 第115-116页 |
| 参考文献 | 第116-131页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文及科研成果 | 第131-133页 |
