| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题研究背景、目的及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 相关领域研究现状 | 第11-18页 |
| 1.2.1 电迁移基本原理 | 第11-13页 |
| 1.2.2 电迁移的特性 | 第13-15页 |
| 1.2.3 电流的聚集效应 | 第15-16页 |
| 1.2.4 典型的电迁移现象研究 | 第16-17页 |
| 1.2.5 电迁移研究展望 | 第17-18页 |
| 1.3 本课题研究的主要内容 | 第18-19页 |
| 第2章 实验方法 | 第19-24页 |
| 2.1 实验材料 | 第19-20页 |
| 2.2 实验过程 | 第20-23页 |
| 2.2.1 加速应力实验设计 | 第20-21页 |
| 2.2.2 直流加速应力实验试样的制备 | 第21页 |
| 2.2.3 交流加速应力实验试样的制备 | 第21-22页 |
| 2.2.4 光学显微镜分析 | 第22页 |
| 2.2.5 扫描电子显微镜分析 | 第22页 |
| 2.2.6 聚焦离子束技术分析 | 第22页 |
| 2.2.7 透射电子显微镜分析 | 第22-23页 |
| 2.3 电迁移的寿命预测 | 第23-24页 |
| 第3章 Ta/W/Ta DFH 加速应力实验 | 第24-48页 |
| 3.1 Ta/W/Ta DFH 直流加速应力实验 | 第24-44页 |
| 3.1.1 电阻变化曲线 | 第24-25页 |
| 3.1.2 失效特征 | 第25-27页 |
| 3.1.3 失效区域的分析 | 第27-44页 |
| 3.2 Ta/W/Ta DFH 交流加速应力实验 | 第44-46页 |
| 3.2.1 电阻变化曲线 | 第44-45页 |
| 3.2.2 失效特征及其分析 | 第45-46页 |
| 3.3 本章小结 | 第46-48页 |
| 第4章 Ta/NiCu/Ta DFH 加速应力实验 | 第48-66页 |
| 4.1 Ta/NiCu/Ta DFH 直流加速应力实验 | 第48-57页 |
| 4.1.1 电阻变化曲线 | 第48-49页 |
| 4.1.2 失效特征 | 第49-51页 |
| 4.1.3 失效区域的分析 | 第51-57页 |
| 4.2 Ta/NiCu/Ta DFH 交流加速应力实验 | 第57-60页 |
| 4.2.1 电阻变化曲线 | 第57-58页 |
| 4.2.2 失效特征及其分析 | 第58-60页 |
| 4.3 DFH 寿命分析 | 第60-64页 |
| 4.3.1 Ta/NiCu/Ta DFH 寿命分析 | 第60-61页 |
| 4.3.2 加速寿命测试方法 | 第61页 |
| 4.3.3 加速寿命测试方法的简化推导 | 第61页 |
| 4.3.4 电流密度的计算 | 第61-62页 |
| 4.3.5 DFH 加速寿命结果 | 第62-64页 |
| 4.4 本章小结 | 第64-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
