| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第9页 |
| 1.2 纳米级金属薄膜厚度测量的国内外发展概况 | 第9-13页 |
| 1.2.1 台阶仪法 | 第10-11页 |
| 1.2.2 扫描探针显微镜法 | 第11-12页 |
| 1.2.3 椭偏仪法 | 第12-13页 |
| 1.2.4 SPR法 | 第13页 |
| 1.3 课题拟采用方法 | 第13-14页 |
| 1.4 本章小结 | 第14-15页 |
| 第2章 差分式SPR相位检测法测金属薄膜厚度的原理 | 第15-31页 |
| 2.1 SPR效应 | 第15-17页 |
| 2.1.1 SPR效应的发展 | 第15页 |
| 2.1.2 SPR效应的原理 | 第15-16页 |
| 2.1.3 SPR效应的传感结构 | 第16-17页 |
| 2.2 金属薄膜厚度参数的检测原理 | 第17-25页 |
| 2.2.1 SPR检测金属薄膜膜厚模型 | 第17-19页 |
| 2.2.2 SPR法测量模式理论分析 | 第19-24页 |
| 2.2.3 SPR相位法的实现 | 第24-25页 |
| 2.3 差分式SPR相位法 | 第25-29页 |
| 2.3.1 差分式SPR法的研究进展 | 第25页 |
| 2.3.2 SPR差分相位法理论分析 | 第25-28页 |
| 2.3.3 差分式SPR相位法的实现 | 第28-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-31页 |
| 第3章 光学系统的具体设计与建立 | 第31-43页 |
| 3.1 光路元件选择 | 第31-39页 |
| 3.1.1 光源 | 第31页 |
| 3.1.2 传感棱镜及扫描驱动系统 | 第31-33页 |
| 3.1.3 干涉结构 | 第33-38页 |
| 3.1.4 图像采集模块 | 第38-39页 |
| 3.2 光学系统设计结果 | 第39-40页 |
| 3.3 光学系统结构调整及测试 | 第40-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 实验方法及结果分析 | 第43-57页 |
| 4.1 图像处理 | 第43-51页 |
| 4.1.1 图像预处理 | 第44-47页 |
| 4.1.2 图像二值化 | 第47-48页 |
| 4.1.3 条纹细化 | 第48-49页 |
| 4.1.4 计算条纹宽度 | 第49-51页 |
| 4.2 实验结果处理 | 第51-53页 |
| 4.2.1 实验结果 | 第51-53页 |
| 4.2.2 与原方案进行比较 | 第53页 |
| 4.3 实验结果误差分析 | 第53-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-57页 |
| 第5章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |