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波导型准直投影系统中超级衍射光栅特性研究

中文摘要第4-5页
ABSTRACT第5-6页
第1章 绪论第9-13页
    1.1 波导型准直投影系统第9-11页
    1.2 国内外研究现状第11页
    1.3 研究意义及主要完成工作第11-13页
第2章 波导型准直投影系统特性分析第13-23页
    2.1 三种不同结构的波导型准直投影系统结构第13-17页
        2.1.1 棒状波导+平板波导结构第13-14页
        2.1.2 两块平板波导结构第14-15页
        2.1.3 一块平板波导结构第15-17页
    2.2 波导型准直投影系统分析第17-22页
        2.2.1 光源和中继镜组的选择第17-19页
        2.2.2 光束耦合方式第19页
        2.2.3 波导板厚度第19-20页
        2.2.4 超级衍射光栅关键特性分析第20-22页
    2.3 本章小结第22-23页
第3章 基于严格耦合波理论的Matlab建模第23-36页
    3.1 严格耦合波理论第23-31页
        3.1.1 电磁场表达式第25-26页
        3.1.2 建立耦合波方程第26-27页
        3.1.3 求解耦合波方程第27页
        3.1.4 应用边界条件第27-29页
        3.1.5 衍射效率的表达式第29-31页
    3.2 基于严格耦合波理论的MATLAB编程第31-33页
    3.3 编程正确性的验证第33-35页
    3.4 本章小结第35-36页
第4章 波导型准直投影系统中超级衍射光栅的研究第36-53页
    4.1 超级衍射光栅的设计第36-48页
        4.1.1 耦合光栅第37-40页
        4.1.2 扩展光栅第40-44页
        4.1.3 出射光栅第44-48页
    4.2 中继镜组的设计第48-50页
    4.3 超级衍射光栅的制作第50-51页
    4.4 本章小结第51-53页
第5章 TiO_2薄膜应用于衍射光栅的实验验证第53-61页
    5.1 GR13-1850 闪耀光栅镀膜第53-54页
    5.2 GR13-1850 光栅衍射效率测定第54-60页
        5.2.1 GR13-1850 闪耀光栅光学特性分析第54-55页
        5.2.2 入射面垂直于光栅刻线第55-57页
        5.2.3 入射面平行于光栅刻线第57-59页
        5.2.4 实验误差分析第59-60页
    5.3 本章小结第60-61页
第6章 总结与展望第61-63页
    6.1 总结第61-62页
    6.2 展望第62-63页
参考文献第63-67页
发表论文和参加科研情况说明第67-68页
致谢第68-69页

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