基于电容边缘效应的叉指式微加速度计性能分析
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 课程研究背景及意义 | 第10-15页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第15-18页 |
| 1.3 本文主要工作 | 第18-19页 |
| 第二章 考虑电容边缘效应的电容公式 | 第19-39页 |
| 2.1 有限元法简介 | 第19-20页 |
| 2.2 一对极板的电容值 | 第20-25页 |
| 2.2.1 不考虑极板厚度 | 第20-23页 |
| 2.2.2 考虑极板厚度 | 第23-25页 |
| 2.3 两对极板的电容值 | 第25-33页 |
| 2.3.1 不考虑极板厚度 | 第26-31页 |
| 2.3.2 考虑极板厚度 | 第31-33页 |
| 2.4 叉指电容的电容值 | 第33-37页 |
| 2.4.1 不考虑极板厚度 | 第33-35页 |
| 2.4.2 考虑极板厚度 | 第35-37页 |
| 2.5 本章小结 | 第37-39页 |
| 第三章 电容边缘效应对叉指电容电容值的影响 | 第39-50页 |
| 3.1 一对极板的电容值分析 | 第40-43页 |
| 3.1.1 不考虑极板厚度 | 第40-41页 |
| 3.1.2 考虑极板厚度 | 第41-43页 |
| 3.2 两对极板的电容值分析 | 第43-46页 |
| 3.2.1 不考虑极板厚度 | 第43-44页 |
| 3.2.2 考虑极板厚度 | 第44-46页 |
| 3.3 叉指电容的电容值分析 | 第46-49页 |
| 3.3.1 不考虑极板厚度 | 第46-47页 |
| 3.3.2 考虑极板厚度 | 第47-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 电容边缘效应对叉指式微加速度计性能的影响 | 第50-64页 |
| 4.1 静电刚度 | 第50-55页 |
| 4.1.1 静电刚度的产生 | 第50-52页 |
| 4.1.2 叉指式微加速度计质量块的静电刚度 | 第52-55页 |
| 4.2 灵敏度 | 第55-57页 |
| 4.3 非线性度 | 第57-60页 |
| 4.4 叉指式微加速度计性能的仿真 | 第60-63页 |
| 4.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 5.1 本文总结 | 第64-65页 |
| 5.2 展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 攻读硕士期间取得的成果 | 第71-72页 |
