| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第14-32页 |
| 1.1 引言 | 第14-17页 |
| 1.1.1 传感器概述 | 第14-15页 |
| 1.1.2 MEMS技术简介 | 第15-17页 |
| 1.2 基于微悬臂梁的传感技术 | 第17-22页 |
| 1.2.1 微梁传感的工作模式 | 第18-19页 |
| 1.2.2 微梁传感的数据读出方法 | 第19-22页 |
| 1.2.2.1 光学方法 | 第19-20页 |
| 1.2.2.2 压阻方法 | 第20-21页 |
| 1.2.2.3 压电方法 | 第21-22页 |
| 1.2.2.4 电容方法 | 第22页 |
| 1.2.2.5 电子隧穿方法 | 第22页 |
| 1.3 微悬臂梁传感器发展历史和应用 | 第22-24页 |
| 1.3.1 微悬臂梁传感器发展历史 | 第22-23页 |
| 1.3.2 微悬臂梁传感器的应用 | 第23-24页 |
| 1.4 微悬臂梁阵列传感器及其读出技术研究进展 | 第24-31页 |
| 1.4.1 多激光检测法 | 第25-28页 |
| 1.4.2 单激光器逐点检测方法 | 第28-30页 |
| 1.4.3 面光源检测方法 | 第30-31页 |
| 1.5 本文的主要内容 | 第31-32页 |
| 2 基于平动扫描的微悬臂梁阵列传感器系统结构设计及参数优化 | 第32-46页 |
| 2.1 系统结构的设计 | 第32-33页 |
| 2.2 微悬臂梁系统参数的优化设计 | 第33-37页 |
| 2.2.1 激光器的选型 | 第33-35页 |
| 2.2.2 反应池的设计 | 第35-36页 |
| 2.2.3 夹持装置的优化 | 第36-37页 |
| 2.3 微悬臂梁系统显微放大技术 | 第37-39页 |
| 2.4 光电探测器工作特性的研究 | 第39-42页 |
| 2.4.1 四象限探测器的基本工作原理 | 第39-41页 |
| 2.4.2 光斑大小对四象限探测器测量精度的影响 | 第41-42页 |
| 2.5 位移平台的设计 | 第42-45页 |
| 2.5.1 手动位移平台的设计 | 第42页 |
| 2.5.2 电动位移平台的设计 | 第42-45页 |
| 2.6 本章小结 | 第45-46页 |
| 3 微悬臂梁阵列传感器数据采集技术研究 | 第46-58页 |
| 3.1 微梁数据采集系统中数据采集卡的硬件设计 | 第46-49页 |
| 3.1.1 数据采集卡选型主要技术指标 | 第46-47页 |
| 3.1.2 数据采集卡USB2085的结构组成 | 第47-49页 |
| 3.1.3 数据采集卡USB2085的技术规范 | 第49页 |
| 3.2 微梁数据采集系统中软件技术 | 第49-51页 |
| 3.2.1 虚拟仪器软件开发平台 | 第49-50页 |
| 3.2.2 LabVIEW图形化编程软件 | 第50-51页 |
| 3.3 微梁系统中基于LabVIEW的数据采集程序设计 | 第51-57页 |
| 3.3.1 LabVIEW调用DLL驱动数据模块 | 第51-53页 |
| 3.3.2 数据采集模块 | 第53-55页 |
| 3.3.3 数据处理模块 | 第55-57页 |
| 3.3.4 数据存储和显示模块 | 第57页 |
| 3.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 4 基于平动扫描的微悬臂梁阵列传感器系统实现和实验研究 | 第58-66页 |
| 4.1 基于平动扫描的微悬臂梁阵列传感器系统实现 | 第58-60页 |
| 4.1.1 系统硬件平台搭建 | 第58-59页 |
| 4.1.2 系统软件平台设计 | 第59-60页 |
| 4.2 稳定性测试 | 第60-61页 |
| 4.3 阵列信号一致性测试 | 第61-62页 |
| 4.4 特异性生化反应检测 | 第62-64页 |
| 4.5 本章小结 | 第64-66页 |
| 5 总结与展望 | 第66-68页 |
| 5.1 全文工作总结 | 第66页 |
| 5.2 展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |
| 作者简介及读研期间主要成果 | 第76页 |
