| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 注释表 | 第10-11页 |
| 缩略词 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第12页 |
| 1.2 研究概况 | 第12-13页 |
| 1.3 等离子体简介及应用 | 第13-15页 |
| 1.3.1 等离子体概念 | 第13-14页 |
| 1.3.2 等离子体分类 | 第14-15页 |
| 1.4 气体放电简介及基本原理 | 第15-21页 |
| 1.4.1 辉光放电 | 第17-19页 |
| 1.4.2 介质阻挡辉光放电 | 第19-20页 |
| 1.4.3 大气压射频辉光放电 | 第20-21页 |
| 1.5 论文研究内容及创新 | 第21-23页 |
| 1.5.1 论文的结构安排 | 第22页 |
| 1.5.2 研究创新 | 第22-23页 |
| 第二章 辉光放电模型理论研究 | 第23-37页 |
| 2.1 气体放电理论及结构 | 第23-25页 |
| 2.1.1 汤森放电理论 | 第23-24页 |
| 2.1.2 辉光放电结构 | 第24-25页 |
| 2.2 辉光放电数值模拟方法 | 第25-27页 |
| 2.2.1 流体力学模型 | 第26页 |
| 2.2.2 PIC/MCC模型 | 第26-27页 |
| 2.2.3 混合模型 | 第27页 |
| 2.3 等离子体模拟理论 | 第27-35页 |
| 2.3.1 基本假设 | 第27-28页 |
| 2.3.2 流体力学方程 | 第28-34页 |
| 2.3.3 数值算法 | 第34-35页 |
| 2.4 气体放电等离子体与气体流场的耦合理论 | 第35-37页 |
| 第三章 辉光放电模拟 | 第37-54页 |
| 3.1 COMSOL软件介绍 | 第37-39页 |
| 3.2 辉光放电模型的建立 | 第39-43页 |
| 3.2.1 物理参数的定义及几何模型的建立 | 第40-41页 |
| 3.2.2 放电模块的定义 | 第41-42页 |
| 3.2.3 网格划分 | 第42-43页 |
| 3.2.4 数据的运算与结果输出 | 第43页 |
| 3.3 直流放电的仿真结果与分析 | 第43-48页 |
| 3.3.1 电子密度分布 | 第44-45页 |
| 3.3.2 电子温度分布图 | 第45页 |
| 3.3.3 电势及电场分布图 | 第45-46页 |
| 3.3.4 电流时变图 | 第46-48页 |
| 3.4 射频辉光放电的仿真结果及分析 | 第48-51页 |
| 3.4.1 电子密度分布 | 第48-50页 |
| 3.4.2 电场强度分布图 | 第50-51页 |
| 3.4.3 电子电流时变图 | 第51页 |
| 3.5 不同参数对放电的影响 | 第51-53页 |
| 3.5.1 电极间距对放电的影响 | 第51-52页 |
| 3.5.2 电源频率对放电的影响 | 第52-53页 |
| 3.6 本章小节 | 第53-54页 |
| 第四章 基于射频辉光放电等离子体的流场速度测量仿真 | 第54-67页 |
| 4.1 气体流场与放电等离子体相互作用机理研究 | 第54-56页 |
| 4.2 气体流场的选择与建模 | 第56-57页 |
| 4.3 气体流场与气体放电等离子体耦合 | 第57-63页 |
| 4.4 不同参数对放电的影响 | 第63-65页 |
| 4.4.1 放电频率对测量的影响 | 第63-64页 |
| 4.4.2 电极间距对测量的影响 | 第64-65页 |
| 4.5 本章小节 | 第65-67页 |
| 第五章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 5.1 总结 | 第67-68页 |
| 5.2 展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第74页 |