| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 光学元件表面疵病检测研究概述 | 第9-13页 |
| 1.1.1 表面疵病三维形貌测量的研究意义 | 第9-11页 |
| 1.1.2 表面疵病分布情况检测的研究意义 | 第11-12页 |
| 1.1.3 表面疵病检测的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2 数字全息术概述 | 第13-16页 |
| 1.2.1 数字全息术的发展历程 | 第13页 |
| 1.2.2 数字全息术的特点 | 第13-14页 |
| 1.2.3 数字全息术的研究现状 | 第14-15页 |
| 1.2.4 数字全息术在疵病检测中的研究动态 | 第15-16页 |
| 1.3 本论文主要工作 | 第16-17页 |
| 第二章 数字全息术的相关理论 | 第17-36页 |
| 2.1 数字全息术的基本理论 | 第17-22页 |
| 2.1.1 光学全息术的波前记录与再现 | 第17-19页 |
| 2.1.2 数字全息术的波前记录与再现 | 第19-22页 |
| 2.2 数字全息术的记录方法 | 第22-27页 |
| 2.2.1 菲涅耳数字全息术 | 第22-24页 |
| 2.2.2 无透镜傅里叶变换数字全息术 | 第24-25页 |
| 2.2.3 预放大菲涅耳数字全息术与像面数字全息术 | 第25-27页 |
| 2.3 数字全息术的再现算法 | 第27-32页 |
| 2.3.1 菲涅耳变换法 | 第27-29页 |
| 2.3.2 卷积法 | 第29-31页 |
| 2.3.3 角谱法 | 第31-32页 |
| 2.4 数字全息术再现像分辨率的分析与比较 | 第32-36页 |
| 第三章 表面疵病三维形貌高精度测量技术研究 | 第36-56页 |
| 3.1 数字全息术三维形貌测量原理 | 第36-37页 |
| 3.2 像面数字全息术疵病检测系统设计 | 第37-39页 |
| 3.2.1 记录光路设计 | 第37-38页 |
| 3.2.2 再现程序设计 | 第38-39页 |
| 3.3 系统精度的改善方法研究 | 第39-44页 |
| 3.3.1 再现像分辨率的标定与提高方法 | 第39-40页 |
| 3.3.2 零级像与共轭像的消除方法 | 第40-41页 |
| 3.3.3 系统噪声误差的校正方法 | 第41-43页 |
| 3.3.4 再现像平面分辨率的标定方法 | 第43-44页 |
| 3.4 系统精度的考核与验证 | 第44-46页 |
| 3.5 工程光学元件的疵病检测 | 第46-56页 |
| 3.5.1 光学元件的单一表面疵病检测 | 第47-50页 |
| 3.5.2 光学元件的前后表面疵病同步检测 | 第50-56页 |
| 第四章 表面疵病检测横向视场拓展技术研究 | 第56-64页 |
| 4.1 合成孔径数字全息图的记录与拼接 | 第56-59页 |
| 4.2 合成孔径数字全息图离焦像差校正 | 第59-62页 |
| 4.2.1 离焦像差产生原因 | 第59-60页 |
| 4.2.2 离焦像差校正方法及实验验证 | 第60-62页 |
| 4.3 合成孔径数字全息再现相位像拼接 | 第62-64页 |
| 4.3.1 再现相位像拼接技术 | 第62页 |
| 4.3.2 再现相位像拼接实验 | 第62-64页 |
| 第五章 总结与展望 | 第64-67页 |
| 5.1 论文的工作内容及研究成果 | 第64-65页 |
| 5.2 论文的创新点 | 第65页 |
| 5.3 展望 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 附录 | 第72页 |
| 攻读硕士期间发表论文情况 | 第72页 |
| 攻读硕士期间参加会议情况 | 第72页 |