| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-34页 |
| 1.1 研究背景 | 第12-14页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第14-31页 |
| 1.2.1 迟滞非线性建模 | 第14-24页 |
| 1.2.2 迟滞补偿控制 | 第24-27页 |
| 1.2.3 基于压电陶瓷驱动的微位移平台 | 第27-31页 |
| 1.3 论文主要研究内容及结构 | 第31-34页 |
| 第二章 新型多项式模型的迟滞建模与控制 | 第34-54页 |
| 2.1 引言 | 第34-35页 |
| 2.2 新型多项式迟滞模型 | 第35-39页 |
| 2.3 模型实验验证 | 第39-43页 |
| 2.3.1 实验系统 | 第39-41页 |
| 2.3.2 多项式迟滞模型参数辨识 | 第41页 |
| 2.3.3 模型实验验证 | 第41-43页 |
| 2.4 迟滞补偿控制器设计 | 第43-47页 |
| 2.4.1 前馈控制 | 第44-46页 |
| 2.4.2 混合控制 | 第46-47页 |
| 2.5 控制实验与结果 | 第47-53页 |
| 2.5.1 实验设计 | 第47-48页 |
| 2.5.2 结果分析与讨论 | 第48-53页 |
| 2.6 本章小结 | 第53-54页 |
| 第三章 改进型Prandtl-Ishlinski模型的动静态迟滞建模 | 第54-71页 |
| 3.1 引言 | 第54页 |
| 3.2 经典Prandtl-Ishlinskii模型 | 第54-57页 |
| 3.2.1 Prandtl-Ishlinskii模型 | 第54-55页 |
| 3.2.2 模型参数辨识方法 | 第55-57页 |
| 3.3 实验系统介绍 | 第57页 |
| 3.4 改进型Prandtl-Ishlinskii模型的静态迟滞建模 | 第57-63页 |
| 3.4.1 改进型Prandtl-Ishlinskii静态模型 | 第58页 |
| 3.4.2 静态模型参数辨识 | 第58-60页 |
| 3.4.3 静态模型实验验证 | 第60-63页 |
| 3.5 改进型Prandtl-Ishlinskii模型的动态迟滞建模 | 第63-69页 |
| 3.5.1 改进型Prandtl-Ishlinskii动态模型 | 第63-65页 |
| 3.5.2 动态模型参数辨识 | 第65-67页 |
| 3.5.3 动态模型实验验证 | 第67-69页 |
| 3.6 广义迟滞模型 | 第69页 |
| 3.7 本章小结 | 第69-71页 |
| 第四章 基于改进型Prandtl-Ishlinskii模型的自适应控制 | 第71-86页 |
| 4.1 引言 | 第71页 |
| 4.2 改进型Prandtl-Ishlinskii逆模型 | 第71-74页 |
| 4.2.1 改进型Prandtl-Ishlinskii模型 | 第72页 |
| 4.2.2 直接逆模型建模法 | 第72-73页 |
| 4.2.3 逆模型参数辨识方法 | 第73-74页 |
| 4.3 自适应控制器设计 | 第74-79页 |
| 4.3.1 自适应LMS算法 | 第74-76页 |
| 4.3.2 基于单逆模型的自适应控制 | 第76-77页 |
| 4.3.3 基于双逆模型的自适应控制 | 第77-78页 |
| 4.3.4 前馈控制 | 第78页 |
| 4.3.5 PID控制 | 第78-79页 |
| 4.4 实验研究 | 第79-84页 |
| 4.4.1 实验系统 | 第79页 |
| 4.4.2 实验结果与讨论 | 第79-84页 |
| 4.5 本章小结 | 第84-86页 |
| 第五章 压电陶瓷驱动微纳定位系统实验研究 | 第86-106页 |
| 5.1 引言 | 第86页 |
| 5.2 压电陶瓷驱动微纳定位系统设计 | 第86-89页 |
| 5.2.1 精密定位系统 | 第87页 |
| 5.2.2 计算机微视觉测量系统 | 第87-88页 |
| 5.2.3 微纳定位系统 | 第88-89页 |
| 5.3 压电陶瓷迟滞补偿控制器设计 | 第89-92页 |
| 5.3.1 改进型Prandtl-Ishlinskii模型 | 第90页 |
| 5.3.2 迟滞逆模型 | 第90-91页 |
| 5.3.3 压电陶瓷驱动器自适应控制 | 第91-92页 |
| 5.4 微纳定位系统控制器设计 | 第92-99页 |
| 5.4.1 微纳定位系统半闭环控制 | 第92-93页 |
| 5.4.2 微纳定位系统全闭环控制 | 第93-95页 |
| 5.4.3 带有前馈解耦控制器的全闭环控制 | 第95-99页 |
| 5.5 实验研究 | 第99-104页 |
| 5.5.1 压电陶瓷控制实验 | 第99-101页 |
| 5.5.2 微纳定位系统控制实验 | 第101-104页 |
| 5.6 本章小结 | 第104-106页 |
| 结论与展望 | 第106-109页 |
| 参考文献 | 第109-122页 |
| 攻读博士学位期间取得的研究成果 | 第122-125页 |
| 致谢 | 第125-126页 |
| 附件 | 第126页 |
