| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 集成光学器件 | 第11-14页 |
| 1.2.1 集成光学发展 | 第11页 |
| 1.2.2 平面光波导基本原理 | 第11-13页 |
| 1.2.3 光耦合器 | 第13-14页 |
| 1.3 InP基高速电光调制器发展与研究现状 | 第14-17页 |
| 1.3.1 光调制器介绍 | 第14-15页 |
| 1.3.2 InP基电光调制器原理 | 第15-16页 |
| 1.3.3 InP基电光调制器研究进展及应用 | 第16-17页 |
| 1.4 光调制器传输电极 | 第17-19页 |
| 1.4.1 电极结构 | 第17-18页 |
| 1.4.2 行波电极组成 | 第18-19页 |
| 1.5 本论文的主要内容 | 第19-22页 |
| 第2章 InP基矩形马赫-曾德尔电光调制器原理 | 第22-34页 |
| 2.1 沟槽耦合器和波导全反射的理论基础 | 第22-24页 |
| 2.1.1 受抑全内反射原理 | 第22-23页 |
| 2.1.2 矩形MZI光调制结构 | 第23-24页 |
| 2.2 电光调制器波导结构 | 第24-25页 |
| 2.2.1 p-i-n结构 | 第24-25页 |
| 2.3 电光调制器性能表征 | 第25-27页 |
| 2.3.1 电光调制器光学性能参数 | 第25-26页 |
| 2.3.2 电光调制器电学性能参数 | 第26-27页 |
| 2.4 调制器电极理论 | 第27-31页 |
| 2.4.1 行波电极理论基础 | 第27-29页 |
| 2.4.2 调制器高速电极研究方法 | 第29-31页 |
| 2.5 提高MZ电光调制器的带宽 | 第31-32页 |
| 2.6 本章小结 | 第32-34页 |
| 第3章 InP基MZ电光调制器行波电极设计 | 第34-40页 |
| 3.1 矩形环谐振腔滤波器结构 | 第34-35页 |
| 3.2 高速行波电极设计 | 第35-37页 |
| 3.2.1 常用传输段电极结构 | 第35-36页 |
| 3.2.2 共面波导T型类微带电极 | 第36-37页 |
| 3.3 行波电极的等效电路模型 | 第37-38页 |
| 3.4 过渡区与输入输出区电极结构 | 第38-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 电光调制器的行波电极结构仿真优化 | 第40-50页 |
| 4.1 行波电极的电磁仿真 | 第40-42页 |
| 4.1.1 有限元法 | 第40-41页 |
| 4.1.2 软件参数设定 | 第41-42页 |
| 4.1.3 S参数 | 第42页 |
| 4.2 传输区电极参数优化 | 第42-46页 |
| 4.2.1 电极建模 | 第43-44页 |
| 4.2.2 仿真曲线分析 | 第44-45页 |
| 4.2.3 最优电极结构 | 第45-46页 |
| 4.3 输入输出与过渡电极参数优化 | 第46-47页 |
| 4.3.1 模型图案设计 | 第46-47页 |
| 4.3.2 优化曲线 | 第47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-50页 |
| 第5章 电极工艺制备及测试 | 第50-58页 |
| 5.1 电极制备 | 第50-52页 |
| 5.2 电极测试 | 第52-54页 |
| 5.3 测试结果分析 | 第54-56页 |
| 5.3.1 测试曲线及分析 | 第54-55页 |
| 5.3.2 测试结果与仿真结果差异分析 | 第55-56页 |
| 5.4 本章小结 | 第56-58页 |
| 第6章 总结 | 第58-60页 |
| 6.1 配置T型类微带行波电极的高速电光调制器性能 | 第58页 |
| 6.2 工艺实现与器件设计中遇到的问题 | 第58页 |
| 6.3 前景展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66页 |