| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 符号对照表 | 第11-12页 |
| 缩略语对照表 | 第12-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-21页 |
| 1.1 微F-P腔可调谐滤波器的研究背景和意义 | 第15-17页 |
| 1.2 微F-P腔可调谐滤波器的国内外研究现状 | 第17-19页 |
| 1.3 本文研究内容 | 第19页 |
| 1.4 本章小结 | 第19-21页 |
| 第二章 微F-P腔可调谐滤波器的理论研究 | 第21-31页 |
| 2.1 微F-P腔可调谐滤波器的工作原理 | 第21-22页 |
| 2.2 微F-P腔可调谐滤波器的调谐方式和驱动类型 | 第22-24页 |
| 2.3 微F-P腔可调谐滤波器的光学性能分析 | 第24-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 微F-P腔可调谐滤波器结构设计与仿真 | 第31-45页 |
| 3.1 微F-P腔可调谐滤波器基本结构设计 | 第31-35页 |
| 3.2 微F-P腔可调谐滤波器的有限元仿真 | 第35-43页 |
| 3.2.1 有限元仿真的意义 | 第35-37页 |
| 3.2.2 微F-P腔可调谐滤波器的静电分析 | 第37-40页 |
| 3.2.3 微F-P腔可调谐滤波器的结构应力分析 | 第40-42页 |
| 3.2.4 微F-P腔静电驱动边缘效应分析 | 第42-43页 |
| 3.3 本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 微F-P腔可调谐滤波器关键工艺技术研究和器件制备 | 第45-61页 |
| 4.1 微F-P腔可调谐滤波器的器件制备流程 | 第45-47页 |
| 4.2 微F-P腔可调谐滤波器的关键工艺技术研究 | 第47-59页 |
| 4.2.1 制备底部反射层和底部电极 | 第48-50页 |
| 4.2.2 金属桥墩的搭建 | 第50-56页 |
| 4.2.3 制作聚酰亚胺牺牲层 | 第56-57页 |
| 4.2.4 制作顶部金属微桥和反射镜 | 第57-58页 |
| 4.2.5 腔体制备和器件结构测试 | 第58-59页 |
| 4.3 本章小结 | 第59-61页 |
| 第五章 总结与展望 | 第61-65页 |
| 5.1 总结 | 第61-62页 |
| 5.2 展望 | 第62-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 致谢 | 第69-71页 |
| 作者简介 | 第71-73页 |
| 在学期间学术成果 | 第73-74页 |
| 期刊文章 | 第73页 |
| 会议文章 | 第73页 |
| 发明专利 | 第73-74页 |