| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 氮化物硬质膜的发展概述 | 第9-12页 |
| 1.1.1 氮化物硬质膜的组元扩展 | 第9-11页 |
| 1.1.2 氮化物硬质膜的结构发展 | 第11-12页 |
| 1.1.3 氮化物硬质膜的制备技术 | 第12页 |
| 1.2 氮化物硬质膜中氮含量的不确定性 | 第12-14页 |
| 1.2.1 氮含量及氮化物膜的化学配比 | 第12-13页 |
| 1.2.2 沉积技术的影响 | 第13页 |
| 1.2.3 沉积工艺的影响 | 第13-14页 |
| 1.3 本研究的目的和意义 | 第14-15页 |
| 第2章 材料与方法 | 第15-21页 |
| 2.1 膜层的制备方法 | 第15-17页 |
| 2.1.1 沉积设备 | 第15-16页 |
| 2.1.2 靶材 | 第16页 |
| 2.1.3 基体材料及其前处理 | 第16-17页 |
| 2.1.4 制备工艺 | 第17页 |
| 2.2 膜层的检测方法 | 第17-21页 |
| 2.2.1 小角度XRD | 第17-18页 |
| 2.2.2 硬度测试 | 第18页 |
| 2.2.3 扫描电子显微镜（SEM）和能谱分析仪（EDS） | 第18页 |
| 2.2.4 断面分析 | 第18-21页 |
| 第3章 氮含量对TiN膜层的影响 | 第21-33页 |
| 3.1 氮含量变化对TiN膜层表面和断面形貌的影响 | 第21-25页 |
| 3.2 氮含量变化对TiN膜层相组成的影响 | 第25-29页 |
| 3.3 氮含量变化对TiN膜层硬度的影响 | 第29-31页 |
| 3.4 本章小结 | 第31-33页 |
| 第4章 氮含量对ZrN膜层的影响 | 第33-41页 |
| 4.1 氮含量变化对ZrN膜层表面和断面形貌的影响 | 第33-36页 |
| 4.2 氮含量变化对ZrN膜层相组成的影响 | 第36-38页 |
| 4.3 氮含量变化对ZrN膜层硬度的影响 | 第38-40页 |
| 4.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第5章 氮含量对CrN膜层性能的影响 | 第41-47页 |
| 5.1 氮含量变化对CrN膜层表面和断面形貌的影响 | 第41-43页 |
| 5.2 氮含量变化对CrN膜层相组成的影响 | 第43-44页 |
| 5.3 氮含量变化对CrN膜层硬度的影响 | 第44-45页 |
| 5.4 本章小结 | 第45-47页 |
| 第6章 氮含量对TiCrN/TiZrN膜层性能的影响 | 第47-61页 |
| 6.1 氮含量对TiCrN／TiZrN表面和断面形貌的影响 | 第47-52页 |
| 6.2 氮含量对TiCrN／TiZrN相组成的影响 | 第52-56页 |
| 6.3 氮含量对TiCrN／TiZrN硬度的影响 | 第56-59页 |
| 6.4 本章小结 | 第59-61页 |
| 结论 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 在学期间研究成果 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
