1200V MPS二极管的模拟与设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-12页 |
| 1.1 概述 | 第8-9页 |
| 1.2 功率整流二极管的设计趋势 | 第9-10页 |
| 1.3 MPS二极管的提出和发展现状 | 第10-11页 |
| 1.4 课题研究意义及主要研究内容 | 第11-12页 |
| 1.4.1 课题研究意义 | 第11页 |
| 1.4.2 主要工作内容 | 第11-12页 |
| 第2章 MPS二极管工作原理分析 | 第12-20页 |
| 2.1 正向特性 | 第12-17页 |
| 2.1.1 低正向偏压状态 | 第13-14页 |
| 2.1.2 大注入状态 | 第14-17页 |
| 2.2 反向阻断特性 | 第17-18页 |
| 2.3 动态特性 | 第18-19页 |
| 2.4 小结 | 第19-20页 |
| 第3章 MPS二极管工作特性仿真模拟 | 第20-31页 |
| 3.1 仿真软件介绍 | 第20-21页 |
| 3.1.1 器件仿真模块 | 第20-21页 |
| 3.1.2 工艺仿真模块 | 第21页 |
| 3.2 仿真模型选取 | 第21-23页 |
| 3.3 MPS二极管的性能仿真 | 第23-30页 |
| 3.3.1 MPS二极管性能仿真模拟 | 第23-28页 |
| 3.3.2 设计方案选定 | 第28-30页 |
| 3.4 小结 | 第30-31页 |
| 第4章 MPS二极管参数设计及优化 | 第31-46页 |
| 4.1 MPS纵向参数设计 | 第31-35页 |
| 4.1.1 漂移区参数设计 | 第31-34页 |
| 4.1.2 P~+、N~+区域参数设计 | 第34-35页 |
| 4.2 横向参数设计 | 第35-40页 |
| 4.2.1 肖特基比例对器件性能的影响 | 第35-38页 |
| 4.2.2 横向尺寸的选取 | 第38-40页 |
| 4.3 接触功函数优化选取 | 第40-42页 |
| 4.4 漂移区载流子寿命优化 | 第42-45页 |
| 4.4.1 载流子寿命对器件特性影响 | 第42-43页 |
| 4.4.2 载流子寿命选取 | 第43-45页 |
| 4.5 小结 | 第45-46页 |
| 第5章 工艺仿真及版图设计 | 第46-56页 |
| 5.1 工艺仿真 | 第46-51页 |
| 5.1.1 仿真流程解析 | 第46-50页 |
| 5.1.2 实际工艺操作流程 | 第50-51页 |
| 5.2 版图设计 | 第51-55页 |
| 5.3 小结 | 第55-56页 |
| 第6章 结论 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 在学研究成果 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
