基于MEMS工艺的PCR微流控系统的研制
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-34页 |
| ·引言 | 第12页 |
| ·PCR 反应技术 | 第12-16页 |
| ·PCR 反应原理 | 第12-14页 |
| ·反应温度与时间对PCR 反应的影响 | 第14-15页 |
| ·PCR 循环次数 | 第15页 |
| ·PCR 结果分析 | 第15页 |
| ·PCR 技术的特点 | 第15-16页 |
| ·PCR 的应用 | 第16页 |
| ·MEMS 技术 | 第16-18页 |
| ·微流控芯片及相关技术 | 第18-22页 |
| ·徽流控芯片 | 第18-19页 |
| ·微全分析系统 | 第19页 |
| ·微流控芯片流体的控制 | 第19-20页 |
| ·微流控芯片的检测手段 | 第20-21页 |
| ·毛细管电泳芯片（CE） | 第21-22页 |
| ·传统PCR | 第22-23页 |
| ·PCR 微流控芯片 | 第23-32页 |
| ·静态微腔室型PCR 芯片 | 第24-27页 |
| ·连续流式PCR 芯片 | 第27-32页 |
| ·本论文的研究意义及主要研究内容 | 第32-33页 |
| ·研究目的及意义 | 第32页 |
| ·主要研究内容 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第二章 PCR 微流控芯片的设计 | 第34-47页 |
| ·芯片设计路线 | 第34页 |
| ·PCR-CE 系统的设计样例 | 第34-37页 |
| ·实验室研究背景 | 第37-38页 |
| ·芯片材料选择 | 第38-40页 |
| ·PCR-CE 微流控芯片整体设计 | 第40-41页 |
| ·PCR-CE 微流控芯片的功能设计 | 第41-42页 |
| ·微流控芯片上PDMS 盖片的微通道设计 | 第42-44页 |
| ·混合通道 | 第42-43页 |
| ·PCR 区域 | 第43页 |
| ·CE 区域 | 第43-44页 |
| ·微流控芯片下电极基板的设计 | 第44-46页 |
| ·本章小节 | 第46-47页 |
| 第三章 微流控芯片结构的热模拟分析 | 第47-60页 |
| ·模拟仿真的问题提出 | 第47-48页 |
| ·有限元分析介绍 | 第48页 |
| ·使用软件介绍 | 第48-51页 |
| ·ANSYS | 第48-49页 |
| ·ANSYS Workbench | 第49-50页 |
| ·AutoCAD | 第50页 |
| ·SolidWorks | 第50-51页 |
| ·模拟结构 | 第51-52页 |
| ·模拟参数 | 第52-53页 |
| ·模拟软件的使用 | 第53-56页 |
| ·AutoCAD 的2D 版图设计 | 第53页 |
| ·SolidWorks 的3D 装配体的生成 | 第53-54页 |
| ·ANSYS Workbench 平台的设置 | 第54-56页 |
| ·模拟结果分析 | 第56-59页 |
| ·稳态热模拟分析 | 第56-58页 |
| ·瞬态热模拟分析 | 第58-59页 |
| ·本章小节 | 第59-60页 |
| 第四章 微流控芯片MEMS 工艺的研究 | 第60-83页 |
| ·试剂与仪器 | 第60页 |
| ·掩模板 | 第60-62页 |
| ·基板处理 | 第62-63页 |
| ·PDMS 模具研究 | 第63-69页 |
| ·模具与SU-8 胶 | 第63-65页 |
| ·SU-8 阳模的制备 | 第65-69页 |
| ·PDMS 工艺研究 | 第69-71页 |
| ·电极基板的加工 | 第71-74页 |
| ·Lift off 工艺 | 第72-73页 |
| ·溅射刻蚀 | 第73-74页 |
| ·封装键合 | 第74-78页 |
| ·改性封装研究 | 第75-76页 |
| ·改进型半固化封装研究 | 第76-78页 |
| ·确定的MEMS 加工工艺 | 第78-79页 |
| ·SU-阳模的制作 | 第78页 |
| ·PDMS 盖片的制作 | 第78-79页 |
| ·Pt 电极基板的制作 | 第79页 |
| ·封装键合 | 第79页 |
| ·集成光纤的CE 通道的制备及尝试 | 第79-80页 |
| ·外部连接的实现 | 第80-81页 |
| ·本章小节 | 第81-83页 |
| 第五章 外部设备 | 第83-91页 |
| ·压电泵 | 第83-87页 |
| ·压电泵介绍 | 第83-85页 |
| ·压电泵控制方法 | 第85-87页 |
| ·温度控制系统 | 第87-89页 |
| ·CE 荧光检测系统 | 第89-90页 |
| ·本章小节 | 第90-91页 |
| 第六章 成品与测试 | 第91-100页 |
| ·SU-8 阳模成品检测 | 第91-93页 |
| ·微流控芯片封装测试 | 第93-94页 |
| ·流体注入测试 | 第94-95页 |
| ·PCR 温度控制系统的测试 | 第95-98页 |
| ·CE 电泳分离测试 | 第98-99页 |
| ·本章小结 | 第99-100页 |
| 第七章 总结与展望 | 第100-103页 |
| ·主要工作和创新点总结 | 第100-102页 |
| ·后续研究工作 | 第102-103页 |
| 参考文献 | 第103-108页 |
| 致谢 | 第108-109页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第109页 |
| 攻读硕士学位期间申请的专利 | 第109页 |
