基于固体纳米孔的DNA分子检测器件设计与制造
| 摘要 | 第5-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第15-33页 |
| 1.1 研究背景 | 第15-16页 |
| 1.2 研究现状 | 第16-30页 |
| 1.2.1 生物纳米孔器件 | 第17-18页 |
| 1.2.2 固体纳米孔器件 | 第18-25页 |
| 1.2.3 纳米间隙器件 | 第25-28页 |
| 1.2.4 本节总结 | 第28-30页 |
| 1.3 本文研究内容 | 第30-33页 |
| 第二章 SiN纳米孔器件制造与应用 | 第33-53页 |
| 2.1 SiN薄膜芯片设计与制造 | 第33-43页 |
| 2.1.1 SiN薄膜芯片工艺设计 | 第33-34页 |
| 2.1.2 SiN芯片工艺版图设计 | 第34-35页 |
| 2.1.3 SiN薄膜芯片制造 | 第35-43页 |
| 2.2 SiN纳米孔芯片制造 | 第43-47页 |
| 2.2.1 基于FIB的SiN薄膜纳米孔制造 | 第43-45页 |
| 2.2.2 基于TEM的SiN薄膜纳米孔制造 | 第45-47页 |
| 2.3 基于SiN纳米孔芯的DNA过孔初步研究 | 第47-52页 |
| 2.3.1 SiN纳米孔检测DNA分子试验 | 第47-49页 |
| 2.3.2 SiN纳米孔芯片作为支撑结构试验 | 第49-52页 |
| 2.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第三章 金纳米间隙-纳米孔检测器件的研究 | 第53-77页 |
| 3.1 引言 | 第53页 |
| 3.2 金纳米间隙-纳米孔芯片设计 | 第53-66页 |
| 3.2.1 芯片工作原理 | 第53-54页 |
| 3.2.2 金纳米间隙-纳米孔芯制造工艺设计 | 第54-56页 |
| 3.2.3 金纳米线尺寸设计 | 第56-61页 |
| 3.2.4 金纳米间隙-纳米孔芯制造版图设计 | 第61-66页 |
| 3.2.5 实验过程表征与检测手段 | 第66页 |
| 3.3 金纳米间隙-纳米孔芯制造 | 第66-74页 |
| 3.4 金纳米线电学特性表征 | 第74-75页 |
| 3.5 金纳米间隙-纳米孔测试DNA分子的研究 | 第75-76页 |
| 3.6 本章总结 | 第76-77页 |
| 第四章 硅纳米线可控制造的研究 | 第77-109页 |
| 4.1 引言 | 第77-78页 |
| 4.2 材料选择 | 第78-81页 |
| 4.2.1 基体选择 | 第78-80页 |
| 4.2.2 催化剂选择 | 第80-81页 |
| 4.3 硅纳米线制造 | 第81-84页 |
| 4.3.1 样品准备 | 第81页 |
| 4.3.2 硅纳米线生长 | 第81-83页 |
| 4.3.3 试验后处理 | 第83-84页 |
| 4.4 硅纳米线生长实验结果与讨论 | 第84-98页 |
| 4.4.1 纳米线成分分析 | 第84-95页 |
| 4.4.2 纳米线电学特性表征 | 第95-96页 |
| 4.4.3 纳米线生长机理研究 | 第96-98页 |
| 4.5 可控硅纳米线制造 | 第98-99页 |
| 4.5.1 样品准备 | 第99页 |
| 4.5.2 硅纳米线生长 | 第99页 |
| 4.5.3 实验后处理 | 第99页 |
| 4.6 可控硅纳米线制造研究 | 第99-108页 |
| 4.6.1 Cu图形体积的影响 | 第99-102页 |
| 4.6.2 退火时间的影响 | 第102-104页 |
| 4.6.3 SiO_2厚度的影响 | 第104-108页 |
| 4.7 本章小结 | 第108-109页 |
| 第五章 二维平面内硅纳米线的可控制备 | 第109-143页 |
| 5.1 引言 | 第109-113页 |
| 5.2 实验部分 | 第113-114页 |
| 5.2.1 样品准备 | 第113页 |
| 5.2.2 硅纳米线的生长 | 第113-114页 |
| 5.2.3 实验后处理 | 第114页 |
| 5.3 实验结果与讨论 | 第114-128页 |
| 5.3.1 平面内硅纳米线的制造与表征 | 第114-120页 |
| 5.3.2 平面内硅纳米线生长机理研究 | 第120-122页 |
| 5.3.3 平面内硅纳米线网制造研究 | 第122-125页 |
| 5.3.4 平面内硅纳米线网电学测试与讨论 | 第125-128页 |
| 5.4 平面内可控硅纳米线制造研究 | 第128-141页 |
| 5.4.1 硅纳米线环制备与讨论 | 第128-133页 |
| 5.4.2 硅纳米线网制备与讨论 | 第133-141页 |
| 5.5 本章小结 | 第141-143页 |
| 第六章 单碱基分子与短链DNA分子辨识的研究 | 第143-161页 |
| 6.1 引言 | 第143页 |
| 6.2 实验部分 | 第143-145页 |
| 6.2.1 实验设计 | 第143-144页 |
| 6.2.2 样品准备与实验 | 第144-145页 |
| 6.3 实验结果与讨论 | 第145-160页 |
| 6.3.1 实验结果与初步讨论 | 第145-151页 |
| 6.3.2 DNA穿过纳米孔的模型 | 第151-157页 |
| 6.3.3 单碱基分子检测实验结果讨论 | 第157-158页 |
| 6.3.4 短链DNA分子检测实验 | 第158-160页 |
| 6.3.5 长链DNA分子检测实验结果与讨论 | 第160页 |
| 6.4 本章总结 | 第160-161页 |
| 第七章 总结与展望 | 第161-165页 |
| 7.1 论文的主要工作和结论 | 第161-162页 |
| 7.2 论文的创新点 | 第162-163页 |
| 7.3 未来工作的展望 | 第163-165页 |
| 致谢 | 第165-167页 |
| 参考文献 | 第167-175页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文及专利 | 第175-176页 |
