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基于衍射成像系统的薄膜元件关键技术研究

摘要第5-7页
Abstract第7-9页
第1章 绪论第12-32页
    1.1 课题研究背景及意义第12-13页
    1.2 大口径空间望远镜成像技术途径第13-23页
    1.3 衍射成像技术国内外发展现状第23-30页
    1.4 论文的主要研究内容第30-32页
第2章 衍射成像系统设计第32-68页
    2.1 衍射成像系统基本理论与分析第32-47页
    2.2 衍射望远镜系统设计第47-54页
    2.3 衍射成像系统公差分析第54-67页
    2.4 本章小结第67-68页
第3章 衍射光学元件理论设计与试验第68-94页
    3.1 衍射元件基本理论第68-69页
    3.2 薄膜基底材料选取第69-72页
    3.3 基于薄膜材料衍射元件的工艺实现第72-88页
    3.4 薄膜支撑装置设计第88-92页
    3.5 本章小结第92-94页
第4章 薄膜衍射光学元件制作误差分析第94-116页
    4.1 理想衍射元件的衍射效率第94-96页
    4.2 模板制作误差第96-104页
    4.3 转移误差第104-109页
    4.4 实验验证第109-114页
    4.5 本章小结第114-116页
第5章 薄膜衍射元件在光学系统中的成像质量测试与评价第116-140页
    5.1 衍射物镜轮廓测试第116-120页
    5.2 衍射物镜粗糙度测试第120-122页
    5.3 薄膜衍射物镜折射率均一性测试第122-127页
    5.4 衍射效率测试第127-132页
    5.5 衍射望远镜系统搭建及成像性能测试第132-138页
    5.6 本章小结第138-140页
第6章 总结与展望第140-144页
    6.1 总结第140-141页
    6.2 展望第141-144页
参考文献第144-154页
在学期间学术成果情况第154-156页
指导教师及作者简介第156-158页
致谢第158-159页

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