| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-26页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第12-13页 |
| 1.2 研究发展现状 | 第13-23页 |
| 1.2.1 光栅杂散光测试系统分类 | 第13-14页 |
| 1.2.2 光栅杂散光测试的发展现状 | 第14-23页 |
| 1.3 论文的主要研究内容及结构安排 | 第23-26页 |
| 1.3.1 论文的主要研究内容 | 第23-24页 |
| 1.3.2 论文的结构安排 | 第24-26页 |
| 第2章 平面衍射光栅杂散光理论基础 | 第26-40页 |
| 2.1 平面衍射光栅杂散光研究方法 | 第26-30页 |
| 2.1.1 平面衍射光栅杂散光定义 | 第26-27页 |
| 2.1.2 基于电磁场理论的研究 | 第27-29页 |
| 2.1.3 基于Kirchhoff标量衍射理论的研究 | 第29-30页 |
| 2.2 基于标量衍射理论的平面衍射光栅杂散光测试方法 | 第30-32页 |
| 2.3 系统杂光建模相关理论 | 第32-38页 |
| 2.3.1 杂光建模中的散射模型 | 第32-34页 |
| 2.3.2 镜面散射模型与功率谱密度的关系 | 第34-38页 |
| 2.4 本章小结 | 第38-40页 |
| 第3章 平面衍射光栅杂散光测试系统的光学设计 | 第40-62页 |
| 3.1 测试系统技术指标 | 第40-41页 |
| 3.2 系统总体设计方案 | 第41-42页 |
| 3.3 光学设计与结果分析 | 第42-61页 |
| 3.3.1 光源和能量监测系统光学设计 | 第43-46页 |
| 3.3.2 扩束系统光学设计 | 第46-50页 |
| 3.3.3 前置单色光输出系统光学设计 | 第50-54页 |
| 3.3.4 能量控制系统光学设计 | 第54-55页 |
| 3.3.5 测量系统光学设计 | 第55-58页 |
| 3.3.6 整体光学系统一体优化设计 | 第58-61页 |
| 3.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第4章 平面衍射光栅杂散光测试系统杂光建模与抑制 | 第62-80页 |
| 4.1 仪器杂光的评价与建模 | 第62-64页 |
| 4.2 杂光源分析 | 第64-67页 |
| 4.3 杂光的抑制措施与结果分析 | 第67-78页 |
| 4.3.1 仪器杂光抑制方法 | 第67-69页 |
| 4.3.2 不同入射波长和镜面粗糙度的结果分析 | 第69-72页 |
| 4.3.3 不同肩宽l的结果分析 | 第72-75页 |
| 4.3.4 不同狭缝宽度的结果分析 | 第75-76页 |
| 4.3.5 不同光栅刻线密度的结果分析 | 第76-78页 |
| 4.4 机电设计中的抑制杂光措施 | 第78-79页 |
| 4.5 本章小结 | 第79-80页 |
| 第5章 平面光栅杂散光测试系统装调测试与光栅表面参数反演 | 第80-102页 |
| 5.1 平面光栅杂散光测试系统装调 | 第80-83页 |
| 5.2 样品测试 | 第83-96页 |
| 5.2.1 数据测量、修正与标定 | 第83-90页 |
| 5.2.2 光栅样品的测试 | 第90-91页 |
| 5.2.3 仪器的重复性分析 | 第91-96页 |
| 5.3 光栅表面参数的反演 | 第96-100页 |
| 5.4 本章小结 | 第100-102页 |
| 第6章 总结与展望 | 第102-104页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第102-103页 |
| 6.2 展望 | 第103-104页 |
| 参考文献 | 第104-114页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第114-116页 |
| 指导教师及作者简介 | 第116-118页 |
| 致谢 | 第118页 |
