| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 1. 绪论 | 第9-15页 |
| ·生物传感器的发展背景 | 第9页 |
| ·光学生物传感器的发展历程 | 第9-11页 |
| ·集成光波导生物传感技术发展现状 | 第11-13页 |
| ·本论文的创新点和章节安排 | 第13-15页 |
| 2. 相关理论 | 第15-25页 |
| ·光波导基本理论 | 第15-19页 |
| ·倏逝波传感原理 | 第19-21页 |
| ·V型耦合腔半导体激光器 | 第21-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3. 传感器工作原理分析 | 第25-31页 |
| ·生物传感系统 | 第25-26页 |
| ·游标放大效应分析 | 第26-27页 |
| ·激光内腔传感原理分析 | 第27-28页 |
| ·探测原理分析 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-31页 |
| 4. 传感器结构设计与传感灵敏度分析 | 第31-49页 |
| ·传感器需求分析 | 第31-34页 |
| ·有源无源集成方式 | 第31-33页 |
| ·波导结构需求 | 第33-34页 |
| ·传感器方案结构设计 | 第34-42页 |
| ·量子阱混杂方案实现 | 第34-38页 |
| ·偏移量子阱方案实现 | 第38-42页 |
| ·传感灵敏度分析与讨论 | 第42-46页 |
| ·量子阱混杂方案的结果讨论 | 第42-43页 |
| ·偏移量子阱方案的结果讨论 | 第43-45页 |
| ·灵敏度深入分析 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-49页 |
| 5. 基于V型耦合腔激光内腔生物传感器的制作和实验分析 | 第49-65页 |
| ·掩模设计 | 第49-52页 |
| ·传感器制作中的主要工艺 | 第52-58页 |
| ·光刻 | 第52-55页 |
| ·刻蚀 | 第55-56页 |
| ·湿法氧化 | 第56-58页 |
| ·传感器波导的制作流程 | 第58-61页 |
| ·有源波导的制作 | 第58-59页 |
| ·无源波导的制作 | 第59-60页 |
| ·有源无源集成波导的制作 | 第60-61页 |
| ·主要实验工作 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 6. 总结与展望 | 第65-67页 |
| ·本文的核心内容及创新 | 第65-66页 |
| ·本文展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 附录 | 第71页 |
| 作者简历 | 第71页 |
| 成果附录 | 第71页 |