致谢 | 第1-5页 |
摘要 | 第5-6页 |
Abstract | 第6-7页 |
目录 | 第7-9页 |
1. 绪论 | 第9-15页 |
·生物传感器的发展背景 | 第9页 |
·光学生物传感器的发展历程 | 第9-11页 |
·集成光波导生物传感技术发展现状 | 第11-13页 |
·本论文的创新点和章节安排 | 第13-15页 |
2. 相关理论 | 第15-25页 |
·光波导基本理论 | 第15-19页 |
·倏逝波传感原理 | 第19-21页 |
·V型耦合腔半导体激光器 | 第21-24页 |
·本章小结 | 第24-25页 |
3. 传感器工作原理分析 | 第25-31页 |
·生物传感系统 | 第25-26页 |
·游标放大效应分析 | 第26-27页 |
·激光内腔传感原理分析 | 第27-28页 |
·探测原理分析 | 第28-29页 |
·本章小结 | 第29-31页 |
4. 传感器结构设计与传感灵敏度分析 | 第31-49页 |
·传感器需求分析 | 第31-34页 |
·有源无源集成方式 | 第31-33页 |
·波导结构需求 | 第33-34页 |
·传感器方案结构设计 | 第34-42页 |
·量子阱混杂方案实现 | 第34-38页 |
·偏移量子阱方案实现 | 第38-42页 |
·传感灵敏度分析与讨论 | 第42-46页 |
·量子阱混杂方案的结果讨论 | 第42-43页 |
·偏移量子阱方案的结果讨论 | 第43-45页 |
·灵敏度深入分析 | 第45-46页 |
·本章小结 | 第46-49页 |
5. 基于V型耦合腔激光内腔生物传感器的制作和实验分析 | 第49-65页 |
·掩模设计 | 第49-52页 |
·传感器制作中的主要工艺 | 第52-58页 |
·光刻 | 第52-55页 |
·刻蚀 | 第55-56页 |
·湿法氧化 | 第56-58页 |
·传感器波导的制作流程 | 第58-61页 |
·有源波导的制作 | 第58-59页 |
·无源波导的制作 | 第59-60页 |
·有源无源集成波导的制作 | 第60-61页 |
·主要实验工作 | 第61-63页 |
·本章小结 | 第63-65页 |
6. 总结与展望 | 第65-67页 |
·本文的核心内容及创新 | 第65-66页 |
·本文展望 | 第66-67页 |
参考文献 | 第67-71页 |
附录 | 第71页 |
作者简历 | 第71页 |
成果附录 | 第71页 |