| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-39页 |
| 1.1 微型LED阵列的简介 | 第11-13页 |
| 1.2 柔性微型LED阵列的特点及应用 | 第13-16页 |
| 1.3 柔性微型无机LED阵列的研究进展 | 第16-26页 |
| 1.4 柔性电极的研究进展 | 第26-36页 |
| 1.5 本论文的主要研究内容 | 第36-39页 |
| 第2章 AlGaInP-LED的基本理论 | 第39-51页 |
| 2.1 AlGaIn P-LED的结构及工作原理 | 第39-43页 |
| 2.1.1 AlGaInP材料 | 第39-41页 |
| 2.1.2 AlGaInP-LED的双异质结结构 | 第41-43页 |
| 2.1.3 AlGaInP-LED的工作原理 | 第43页 |
| 2.2 AlGaIn P-LED的光提取效率 | 第43-48页 |
| 2.3 电流传输理论 | 第48-50页 |
| 2.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第3章 柔性微型AlGaInP-LED阵列的结构设计及相关材料的选取 | 第51-71页 |
| 3.1 柔性微阵列的设计 | 第51-62页 |
| 3.1.1 柔性微阵列像素尺寸的设计 | 第51-56页 |
| 3.1.2 柔性微阵列的像素排布设计 | 第56-60页 |
| 3.1.3 柔性电极的设计 | 第60-62页 |
| 3.2 相关材料的选取 | 第62-69页 |
| 3.2.1 柔性材料的选取 | 第62-66页 |
| 3.2.2 电极材料的选择 | 第66-69页 |
| 3.3 本章小结 | 第69-71页 |
| 第4章 柔性电极的理论分析 | 第71-87页 |
| 4.1 条形电极的理论计算 | 第71-73页 |
| 4.2 条形电极的有限元分析 | 第73-76页 |
| 4.3 条形电极柔性微阵列的理论计算 | 第76-77页 |
| 4.4 条形电极柔性微阵列的有限元分析 | 第77-80页 |
| 4.5 三维立体锁链形电极的理论分析 | 第80-81页 |
| 4.6 三维立体锁链形电极柔性微阵列的理论分析 | 第81-82页 |
| 4.7 三维立体锁链形电极柔性微阵列有限元分析 | 第82-85页 |
| 4.8 本章小结 | 第85-87页 |
| 第5章 柔性微型AlGaInP-LED阵列的工艺设计及相关技术研究 | 第87-121页 |
| 5.1 柔性微型AlGaInP-LED阵列的工艺设计 | 第87-105页 |
| 5.1.1 宽间距像素分割的设计 | 第87-96页 |
| 5.1.2 三维立体锁链形上电极的制备工艺的设计 | 第96-105页 |
| 5.2 柔性微型AlGaInP-LED阵列的相关技术研究 | 第105-120页 |
| 5.2.1 像素单元的分割 | 第105-107页 |
| 5.2.2 隔离沟槽的填充 | 第107-110页 |
| 5.2.3 GaAs衬底减薄 | 第110-112页 |
| 5.2.4 三维立体锁链形电极的制备 | 第112-120页 |
| 5.3 本章小结 | 第120-121页 |
| 第6章 接触电阻的分析与测试 | 第121-129页 |
| 6.1 电接触与接触电阻 | 第121-124页 |
| 6.2 表面膜电阻 | 第124-125页 |
| 6.3 表面膜电阻的测试 | 第125-127页 |
| 6.4 影响表面膜电阻的因素 | 第127-128页 |
| 6.5 本章小结 | 第128-129页 |
| 第7章 总结与展望 | 第129-133页 |
| 7.1 结论 | 第129-130页 |
| 7.2 创新点 | 第130页 |
| 7.3 研究展望 | 第130-133页 |
| 参考文献 | 第133-143页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第143-145页 |
| 指导教师及作者简介 | 第145-147页 |
| 致谢 | 第147页 |
