外差干涉纳米定位系统中PZT的迟滞特性研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-14页 |
| 1 绪论 | 第14-20页 |
| ·课题的研究背景 | 第14-15页 |
| ·压电陶瓷致动器迟滞非线性特性的研究现状 | 第15-18页 |
| ·本次研究的主要内容 | 第18-20页 |
| 2 基于外差干涉技术的微位移测量系统 | 第20-25页 |
| ·微位移测量系统组成 | 第20页 |
| ·外差干涉法测长原理及构成 | 第20-21页 |
| ·微位移测量系统的搭建 | 第21-23页 |
| ·微位移测量系统 | 第21-23页 |
| ·微位移测量系统的隔振性能 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 压电陶瓷致动器的特性分析及测试 | 第25-34页 |
| ·压电陶瓷致动器 | 第25-31页 |
| ·压电效应与电致伸缩效应的原理 | 第25-26页 |
| ·叠堆型压电陶瓷致动器 | 第26-28页 |
| ·压电陶瓷致动器的非线性特性 | 第28-31页 |
| ·压电致动器的迟滞非线性实验测试 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 4 压电陶瓷致动器的神经网络建模 | 第34-60页 |
| ·人工神经网络理论 | 第34-39页 |
| ·人工神经网络的组成和结构 | 第34-39页 |
| ·BP神经网络 | 第39-42页 |
| ·BP神经网络算法 | 第39-42页 |
| ·基于多项式拟合算法的迟滞非线性BP神经网络 | 第42-53页 |
| ·迟滞拟合数学模型 | 第42-46页 |
| ·迟滞现象BP神经网络模型 | 第46-53页 |
| ·迟滞神经网络模型的有效性验证 | 第53-54页 |
| ·迟滞BP网络逆模型的建立 | 第54-57页 |
| ·迟滞逆模型的有效性验证 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 5 压电工作台控制方法设计及仿真 | 第60-71页 |
| ·前馈结合PID的复合控制方法 | 第60-65页 |
| ·传统PID控制器及其离散化 | 第60-61页 |
| ·前馈开环控制 | 第61-63页 |
| ·前馈结合PID复合控制 | 第63-65页 |
| ·单神经元自适应控制方法 | 第65-69页 |
| ·单神经元自适应PID控制算法及系统构成 | 第65-68页 |
| ·单神经元自适应PID控制仿真 | 第68-69页 |
| ·控制仿真的比较及分析 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 6 总结与展望 | 第71-73页 |
| ·论文总结 | 第71页 |
| ·论文的不足与展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 附录A 实验测量数据 | 第76-80页 |
| 作者简介 | 第80页 |
