大口径光学平面镜低阶面形检测技术研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 目录 | 第10-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-28页 |
| ·引言 | 第14-17页 |
| ·大口径平面镜传统面形检测方法 | 第17-26页 |
| ·轮廓检测 | 第18-19页 |
| ·光学检测 | 第19-26页 |
| ·课题来源及研究意义 | 第26-27页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第27-28页 |
| 第2章 大口径平面镜在线轮廓检测技术研究 | 第28-56页 |
| ·引言 | 第28-30页 |
| ·双测头轮廓仪的基本原理 | 第30-40页 |
| ·双测头测量原理 | 第30-32页 |
| ·路径规划 | 第32-34页 |
| ·数据处理 | 第34-40页 |
| ·系统设计与检测过程描述 | 第40-47页 |
| ·硬件单元 | 第41-42页 |
| ·软件控制单元 | 第42-46页 |
| ·系统测量过程描述 | 第46-47页 |
| ·双测头轮廓仪位置标定与检测实验 | 第47-54页 |
| ·系统装调及标定过程 | 第47-51页 |
| ·装调精度分析 | 第51-52页 |
| ·测量实验 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第3章 五棱镜扫描检测技术的相关理论研究 | 第56-86页 |
| ·引言 | 第56-57页 |
| ·五棱镜扫描检测技术的基本原理 | 第57-59页 |
| ·五棱镜的工作原理 | 第57-58页 |
| ·五棱镜扫描检测系统的工作原理 | 第58-59页 |
| ·五棱镜扫描检测系统的数学建模及分析 | 第59-70页 |
| ·光线矢量追迹模型 | 第59-64页 |
| ·系统模型的公式推导 | 第64-66页 |
| ·模型分析 | 第66-70页 |
| ·扫描路径规划 | 第70-73页 |
| ·基于斜率测量数据的面形重构 | 第73-76页 |
| ·系统精度分析 | 第76-85页 |
| ·五棱镜制造误差 | 第76-80页 |
| ·自准直仪测量误差 | 第80页 |
| ·五棱镜、自准直仪与被测面的角度变化引起的误差 | 第80-81页 |
| ·光束定位误差 | 第81-82页 |
| ·温度梯度的影响 | 第82-83页 |
| ·五棱镜侧向移动引入的误差 | 第83页 |
| ·误差总结 | 第83-84页 |
| ·Monte Carlo分析 | 第84-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 第4章 五棱镜扫描检测系统设计及实验验证 | 第86-118页 |
| ·引言 | 第86页 |
| ·系统结构设计 | 第86-100页 |
| ·导轨及支撑部分 | 第87-89页 |
| ·自准直仪 | 第89-91页 |
| ·五棱镜及其调整机构 | 第91-94页 |
| ·电动光阑 | 第94-95页 |
| ·传动模块 | 第95-97页 |
| ·系统控制单元 | 第97-100页 |
| ·系统元器件参数标定 | 第100-107页 |
| ·自准直仪的测量不确定度 | 第100-101页 |
| ·五棱镜制造偏差 | 第101-103页 |
| ·五棱镜侧向移动 | 第103-105页 |
| ·三维调整台的有效分辨率 | 第105-107页 |
| ·系统装配 | 第107-108页 |
| ·系统校准过程 | 第108-111页 |
| ·粗校准 | 第108-109页 |
| ·精确校准 | 第109-111页 |
| ·检测实验 | 第111-115页 |
| ·本章小结 | 第115-118页 |
| 第5章 相关检测技术在大口径平面加工中的应用 | 第118-136页 |
| ·引言 | 第118-120页 |
| ·大口径平面镜加工方法 | 第120-127页 |
| ·环抛加工技术 | 第120-121页 |
| ·CCOS加工技术 | 第121-127页 |
| ·大口径平面镜加工策略 | 第127-129页 |
| ·M3MP加工实例 | 第129-135页 |
| ·背面加工 | 第129-134页 |
| ·正面加工 | 第134-135页 |
| ·本章小结 | 第135-136页 |
| 第6章 总结与展望 | 第136-138页 |
| ·全文总结 | 第136-137页 |
| ·下一步工作计划 | 第137-138页 |
| 参考文献 | 第138-148页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第148-150页 |
| 指导教师及作者简介 | 第150-152页 |
| 致谢 | 第152页 |
