磁控溅射法制备YBCO原子层热电堆薄膜研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 概述 | 第9-14页 |
| ·YBCO的基本性质 | 第9-10页 |
| ·激光感生热电电压发展史 | 第10-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-13页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第13-14页 |
| 2 激光感生热电电压原理 | 第14-23页 |
| ·各向异性Seebeck效应 | 第14-15页 |
| ·原子层热电堆材料 | 第15-18页 |
| ·原子层热电堆模型 | 第18-20页 |
| ·包含时间因子的LITV | 第20-21页 |
| ·薄膜参量对感生热电电压的影响 | 第21-23页 |
| 3 YBCO靶材的制备和表征 | 第23-32页 |
| ·YBCO的制备方法简介 | 第23-25页 |
| ·固相法 | 第23页 |
| ·液相法 | 第23-24页 |
| ·气相法 | 第24-25页 |
| ·固相法制备YBCO | 第25-28页 |
| ·研磨与烧结 | 第26-27页 |
| ·压片与成型 | 第27-28页 |
| ·固相法制备YBCO及工艺研究 | 第28-29页 |
| ·YBCO表征方法 | 第29页 |
| ·实验结果分析 | 第29-32页 |
| 4 YBCO薄膜的制备和表征研究 | 第32-43页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·YBCO薄膜的制备方法介绍 | 第32-33页 |
| ·脉冲激光沉积法(PLD) | 第32-33页 |
| ·金属有机物化学气相沉积(MOCVD) | 第33页 |
| ·金属有机溶液沉积(MOD) | 第33页 |
| ·溅射法 | 第33页 |
| ·试验方法 | 第33-34页 |
| ·直流溅射镀膜法 | 第33-34页 |
| ·直流磁控溅射制备YBCO | 第34-35页 |
| ·实验装置 | 第34-35页 |
| ·试验流程 | 第35页 |
| ·溅射氛围研究 | 第35-36页 |
| ·氧分压对YBCO薄膜的影响 | 第36-38页 |
| ·厚度对薄膜影响研究 | 第38-39页 |
| ·退火温度对薄膜质量的影响 | 第39-43页 |
| ·退火温度对005峰的影响 | 第39页 |
| ·退火温度对薄膜表面形态的影响 | 第39-43页 |
| 5 YBCO原子层热电堆的制作 | 第43-54页 |
| ·引言 | 第43-44页 |
| ·探头的制作 | 第44-48页 |
| ·薄膜的制作 | 第44-46页 |
| ·电极的制作 | 第46-47页 |
| ·封装 | 第47-48页 |
| ·测试实验 | 第48-52页 |
| ·测量系统设计 | 第48-51页 |
| ·实验方法 | 第51-52页 |
| ·测量结果分析 | 第52-54页 |
| 6 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 个人简历 | 第59页 |
