工艺参数对金刚石膜生长的影响
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-28页 |
| ·金刚石材料结构、性能与应用 | 第11-21页 |
| ·金刚石的结构 | 第11页 |
| ·金刚石的主要性质及应用 | 第11-21页 |
| ·金刚石膜的形核 | 第21-24页 |
| ·提高形核的途径 | 第21-22页 |
| ·不同衬底上金刚石膜的形核 | 第22-24页 |
| ·金刚石膜的生长 | 第24-26页 |
| ·本文的主要研究内容与研究目的 | 第26-28页 |
| 第2章 实验装置及表征手段 | 第28-36页 |
| ·微波等离子体化学气相沉积装置 | 第28-33页 |
| ·微波系统 | 第29-31页 |
| ·真空及测量系统 | 第31-32页 |
| ·气路系统 | 第32页 |
| ·水电保护系统 | 第32-33页 |
| ·金刚石膜表征 | 第33-36页 |
| ·光学显微镜 | 第33页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第33-34页 |
| ·激光拉曼光谱 | 第34页 |
| ·X 射线衍射 | 第34-36页 |
| 第3章 形核密度对金刚石薄膜的表面形貌的影响 | 第36-48页 |
| ·形核参数对金刚石膜形核密度的影响 | 第36-39页 |
| ·碳源浓度对金刚石膜形核密度的影响 | 第37-39页 |
| ·形核时间对金刚石膜形核密度的影响 | 第39页 |
| ·形核密度对金刚石膜表面形貌及生长取向的影响 | 第39-46页 |
| ·形核密度对金刚石膜表面形貌的影响 | 第39-42页 |
| ·形核密度对金刚石膜晶粒取向的影响 | 第42-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第4章 工艺参数对金刚石薄膜质量的影响 | 第48-60页 |
| ·碳源浓度和基片温度对金刚石薄膜表面形貌的影响 | 第48-54页 |
| ·XRD 对金刚石薄膜结构的分析 | 第51-53页 |
| ·拉曼光谱对不同参数条件制备金刚石薄膜的分析 | 第53-54页 |
| ·金刚石薄膜的生长速率 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-60页 |
| 第5章 全文总结与展望 | 第60-62页 |
| ·全文总结 | 第60页 |
| ·展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 攻读硕士期间发表论文 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
