| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-11页 |
| ·课题背景和意义 | 第8页 |
| ·国内外超纯水控制系统的发展概况 | 第8-9页 |
| ·课题研究的主要内容及系统构成 | 第9-10页 |
| ·本章小结 | 第10-11页 |
| 2 超纯水控制系统集成设计 | 第11-17页 |
| ·超纯水系统工艺流程分析 | 第11-14页 |
| ·超纯水控制系统设计 | 第14-16页 |
| ·超纯水控制系统需求分析 | 第14-15页 |
| ·超纯水控制系统的构成 | 第15-16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 3 控制系统的硬件配置及设计 | 第17-37页 |
| ·超纯水制备系统工艺流程和功能具体分析 | 第17-21页 |
| ·系统设备层设计 | 第21-32页 |
| ·控制系统 I/O 分析与设计 | 第21-26页 |
| ·现场检测及执行元器件的选型及连接 | 第26-32页 |
| ·系统控制层硬件设计 | 第32-33页 |
| ·系统网络通信硬件平台的搭建 | 第33-36页 |
| ·PROFIBUS 通信组建 | 第33-35页 |
| ·工业以太网的组建 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 4 控制系统软件设计 | 第37-47页 |
| ·系统实现的软件环境 | 第37-38页 |
| ·超纯水控制系统组态 | 第38-39页 |
| ·超纯水控制系统程序设计 | 第39-46页 |
| ·程序主体结构 | 第39-41页 |
| ·系统的控制方式 | 第41-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 5 上位监控层设计 | 第47-63页 |
| ·基于 InTouch 的上位机监控的设计 | 第47-58页 |
| ·InTouch 组态软件的介绍 | 第47-48页 |
| ·InTouch 上位监控各窗口的设计 | 第48-54页 |
| ·InTouch 组态界面的设计过程 | 第54-58页 |
| ·InTouch 的监控系统和 WinCC 监控系统数据交互设计 | 第58-62页 |
| ·InTouch 的监控系统和 WinCC 监控系统数据交互原理 | 第58-60页 |
| ·InTouch 的 OPC 服务器配置 | 第60-61页 |
| ·WinCC 的 OPC 服务器配置 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 6 超纯水处理控制系统冗余设计 | 第63-77页 |
| ·系统冗余系统架构 | 第63-64页 |
| ·S7-400H PLC 的冗余硬件设计 | 第64-68页 |
| ·机架与电源的冗余设计 | 第64-66页 |
| ·处理器的冗余设计 | 第66页 |
| ·通信链路及分布式 I/O 的冗余设计 | 第66-68页 |
| ·S7-400H 冗余控制 PLC 的工作过程 | 第68-76页 |
| ·冗余同步 | 第68-69页 |
| ·冗余故障诊断 | 第69-75页 |
| ·冗余故障切换 | 第75-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 7 总结与展望 | 第77-78页 |
| 附录 | 第78-83页 |
| 附录1 系统站地址与模块槽位分配 | 第78-82页 |
| 附录2 系统硬件选型 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-85页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第85-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |