| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 注释表 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·化学机械抛光 | 第13-16页 |
| ·化学机械抛光概述 | 第13页 |
| ·传统的化学机械抛光 | 第13-14页 |
| ·固结磨料化学机械抛光 | 第14页 |
| ·固结磨料化学机械抛光的研究现状 | 第14-16页 |
| ·金刚石表面改性方法 | 第16-19页 |
| ·真空镀 | 第16-17页 |
| ·电镀 | 第17-18页 |
| ·化学镀 | 第18-19页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第19-20页 |
| 第二章 FAP 表面磨粒保持性能检测 | 第20-35页 |
| ·硬件系统 | 第20-23页 |
| ·硬件系统 | 第20-21页 |
| ·硬件参数规范 | 第21-23页 |
| ·软件系统 | 第23-32页 |
| ·图像去噪 | 第24-27页 |
| ·金刚石识别 | 第27-30页 |
| ·去除干扰 | 第30-31页 |
| ·数据统计 | 第31-32页 |
| ·金刚石数量的理论计算 | 第32-33页 |
| ·小结 | 第33-35页 |
| 第三章 金刚石表面改性对 FAP 的磨粒保持性能影响 | 第35-47页 |
| ·非均匀化学沉积氧化镍简述 | 第35-36页 |
| ·实验参数设定 | 第36-37页 |
| ·磨粒改性 | 第37页 |
| ·实验工艺参数设定 | 第37页 |
| ·磨粒浓度 | 第37-40页 |
| ·实验方案 | 第37-38页 |
| ·实验结果与讨论 | 第38-40页 |
| ·包覆比例影响 | 第40-42页 |
| ·实验方案 | 第40-41页 |
| ·实验结果与讨论 | 第41-42页 |
| ·热处理 | 第42-45页 |
| ·实验方案 | 第42-43页 |
| ·实验结果与讨论 | 第43-44页 |
| ·验证 | 第44-45页 |
| ·小结 | 第45-47页 |
| 第四章 材料特性对 FAP 的磨粒保持性能影响 | 第47-57页 |
| ·研磨垫制备 | 第47-48页 |
| ·工件预处理 | 第48-49页 |
| ·研磨试验设计 | 第49-50页 |
| ·去除速率与表面粗糙度的测量 | 第49-50页 |
| ·磨屑的观察与分析 | 第50页 |
| ·结果与讨论 | 第50-56页 |
| ·磨屑的形貌与分析 | 第50-52页 |
| ·研磨过程中的摩擦系数信号和声发射信号 | 第52-54页 |
| ·材料的去除速率 | 第54-55页 |
| ·研磨后工件的表面粗糙度 | 第55-56页 |
| ·小结 | 第56-57页 |
| 第五章 总结与展望 | 第57-59页 |
| ·总结 | 第57页 |
| ·展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 在校期间的研究成果及发表的学术论文 | 第64页 |
| 1．学术论文 | 第64页 |
| 2. 申请的发明专利 | 第64页 |