环形电镀金刚石线锯加工技术及加工质量研究
| 摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-28页 |
| ·本课题研究的目的与意义 | 第12-14页 |
| ·材料切片技术 | 第14-19页 |
| ·金刚石内圆切片机切片技术 | 第14-15页 |
| ·游离磨料线锯切片技术 | 第15-17页 |
| ·固结金刚石线锯切片技术 | 第17-19页 |
| ·锯丝速度的优化研究 | 第19-20页 |
| ·材料去除机理的研究 | 第20-22页 |
| ·脆性材料去除机理模型 | 第20-21页 |
| ·脆性材料去除机理研究 | 第21-22页 |
| ·加工质量研究 | 第22-25页 |
| ·单晶硅加工损伤层研究 | 第22-24页 |
| ·加工表面粗糙度的研究 | 第24-25页 |
| ·本研究领域存在的主要问题 | 第25-26页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第26-28页 |
| 第2章 环形电镀金刚石线锯加工试验研究 | 第28-50页 |
| ·试验设备 | 第28-31页 |
| ·环形电镀金刚石线锯加工机床的设计与制造 | 第28-30页 |
| ·环形电镀金刚石线锯加工机床的运转调试 | 第30-31页 |
| ·试验方法 | 第31-33页 |
| ·加工材料的性能特点 | 第31-32页 |
| ·试验方案 | 第32-33页 |
| ·加工表面微观形貌分析 | 第33-35页 |
| ·加工表面微观形貌特点 | 第33页 |
| ·与往复式固结金刚石线锯的比较 | 第33-35页 |
| ·加工工艺参数对材料去除率的影响 | 第35-36页 |
| ·加工工艺参数对锯切力的影响 | 第36-38页 |
| ·加工工艺参数对切向锯切力的影响 | 第36-37页 |
| ·加工工艺参数对法向力与切向力之比的影响 | 第37-38页 |
| ·加工工艺参数对加工表面粗糙度的影响 | 第38-39页 |
| ·锯丝速度对单晶硅加工损伤层的影响 | 第39-42页 |
| ·损伤层测量方法 | 第40-41页 |
| ·损伤层厚度与锯丝速度的关系 | 第41-42页 |
| ·锯丝磨损 | 第42-45页 |
| ·锯丝磨损量与锯丝速度的关系 | 第42-43页 |
| ·磨粒磨损 | 第43-44页 |
| ·镀层磨损 | 第44-45页 |
| ·减少锯丝磨损的措施 | 第45页 |
| ·加工工艺参数优化 | 第45-48页 |
| ·正交试验指标、因素、位级的确定 | 第46页 |
| ·正交试验及工艺参数优化 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第3章 加工工艺参数最佳范围研究 | 第50-67页 |
| ·锯丝振动与加工工艺参数的关系 | 第50-61页 |
| ·锯切力的随机性 | 第50页 |
| ·振动微分方程 | 第50-53页 |
| ·频率响应函数 | 第53-56页 |
| ·随机响应 | 第56-57页 |
| ·振动特性分析 | 第57-61页 |
| ·锯丝强度与锯丝拉力的关系 | 第61-64页 |
| ·锯丝的拉断 | 第61-62页 |
| ·锯丝受力分析 | 第62-63页 |
| ·防止锯丝拉断的条件 | 第63-64页 |
| ·加工工艺参数最佳范围的确定 | 第64-65页 |
| ·最大张紧力的确定 | 第64页 |
| ·最大锯丝速度的确定 | 第64页 |
| ·最大恒进给压力的确定 | 第64-65页 |
| ·试验研究 | 第65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 第4章 环形电镀金刚石线锯加工材料去除机理 | 第67-78页 |
| ·单晶硅和LT55陶瓷的结构和性能 | 第67-69页 |
| ·单晶硅的结构和性能 | 第67-69页 |
| ·LT55陶瓷的结构和性能 | 第69页 |
| ·材料去除机理模型 | 第69-72页 |
| ·环形电镀金刚石线锯加工时单颗磨粒的切削厚度 | 第72-75页 |
| ·整个加工区单颗磨粒的最大切削厚度 | 第72-74页 |
| ·锯丝横截面上不同位置磨粒的最大切削厚度 | 第74-75页 |
| ·环形电镀金刚石线锯加工时的材料去除机理 | 第75-76页 |
| ·加工表面微观形貌观察 | 第75-76页 |
| ·单颗磨粒最大切削厚度分析 | 第76页 |
| ·本章小结 | 第76-78页 |
| 第5章 单晶硅环形电镀金刚石线锯加工损伤层研究 | 第78-98页 |
| ·单颗磨粒的锯切力与总锯切力的关系 | 第78-83页 |
| ·锯切力的模型 | 第78-79页 |
| ·单颗磨粒的锯切力公式 | 第79-82页 |
| ·单颗磨粒的锯切力与总锯切力的关系式 | 第82-83页 |
| ·锯丝横截面上不同位置磨粒的锯切力大小 | 第83-85页 |
| ·锯丝上磨粒的分布 | 第83-84页 |
| ·锯丝横截面上不同位置单颗磨粒锯切力的计算 | 第84-85页 |
| ·单晶硅环形电镀金刚石线锯加工损伤层的有限元分析 | 第85-94页 |
| ·有限元模型的建立 | 第85-87页 |
| ·影响损伤层的磨粒个数的确定 | 第87-88页 |
| ·有限元分析结果的提取 | 第88-91页 |
| ·单晶硅环形电镀金刚石线锯加工损伤层厚度研究 | 第91-94页 |
| ·加工工艺参数对单晶硅损伤层厚度的影响 | 第94-97页 |
| ·恒进给压力下锯丝速度对损伤层厚度的影响 | 第94-96页 |
| ·恒进给压力变化对损伤层影响的有限元预测 | 第96-97页 |
| ·本章小结 | 第97-98页 |
| 第6章 环形电镀金刚石线锯加工表面粗糙度分析 | 第98-112页 |
| ·锯丝形貌 | 第98-100页 |
| ·磨粒形状 | 第99页 |
| ·磨粒粒度大小和高度分布情况 | 第99-100页 |
| ·单位面积磨粒数 | 第100页 |
| ·加工表面的磨粒残留痕迹 | 第100-102页 |
| ·加工表面的磨粒残留痕迹方程 | 第100-102页 |
| ·加工表面两任意磨粒残留痕迹的交线 | 第102页 |
| ·磨粒磨损的影响 | 第102-104页 |
| ·加工表面粗糙度的建模分析方法和讨论 | 第104-109页 |
| ·表面粗糙度建模分析的步骤 | 第104-106页 |
| ·分析与试验验证 | 第106-109页 |
| ·减小加工表面粗糙度的措施 | 第109-111页 |
| ·本章小结 | 第111-112页 |
| 结论 | 第112-116页 |
| 参考文献 | 第116-124页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及科研情况 | 第124-125页 |
| 致谢 | 第125-126页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第126页 |
