| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-26页 |
| ·引言 | 第14-15页 |
| ·表面工程及涂层的发展 | 第15-16页 |
| ·表面工程的发展 | 第15页 |
| ·涂层的发展 | 第15-16页 |
| ·纳米复合膜 | 第16-21页 |
| ·纳米复合膜的定义和分类 | 第16-17页 |
| ·纳米复合膜的工艺方法 | 第17-18页 |
| ·纳米复合膜的致硬机理 | 第18-19页 |
| ·纳米复合膜的研究现状及进展 | 第19-21页 |
| ·关于薄膜摩擦磨损理论研究 | 第21-24页 |
| ·摩擦理论 | 第21-22页 |
| ·影响摩擦的因素 | 第22-23页 |
| ·磨损 | 第23-24页 |
| ·选题意义与研究内容 | 第24-26页 |
| ·选题意义 | 第24页 |
| ·研究内容 | 第24-26页 |
| 第2章 薄膜的制备与表征 | 第26-33页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·薄膜的制备方法与实验设备 | 第26-28页 |
| ·薄膜的制备原理 | 第26-27页 |
| ·薄膜的制备设备 | 第27-28页 |
| ·镀膜基片的处理方法 | 第28页 |
| ·薄膜的表征方法和表征设备 | 第28-33页 |
| ·X 射线衍射（XRD） | 第28-29页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第29-30页 |
| ·能量色散谱仪（EDS） | 第30页 |
| ·纳米力学综合测试系统 | 第30-31页 |
| ·摩擦磨损试验机 | 第31-33页 |
| 第3章 W-Ti-N 复合膜的微结构及性能研究 | 第33-44页 |
| ·引言 | 第33-34页 |
| ·实验材料及方法 | 第34-35页 |
| ·薄膜制备 | 第34页 |
| ·薄膜表征 | 第34-35页 |
| ·结果与讨论 | 第35-42页 |
| ·薄膜的显微结构 | 第35-36页 |
| ·W-Ti-N 复合膜的力学性能 | 第36-38页 |
| ·W-Ti-N 复合膜的室温摩擦性能 | 第38-42页 |
| ·结论 | 第42-44页 |
| 第4章 W-Si-N 复合膜的微结构、力学性能和摩擦性能研究 | 第44-57页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·实验材料与方法 | 第44-45页 |
| ·薄膜制备 | 第44-45页 |
| ·薄膜表征 | 第45页 |
| ·结果与讨论 | 第45-55页 |
| ·薄膜的成分及显微结构 | 第45-47页 |
| ·薄膜的力学性能 | 第47-50页 |
| ·薄膜的摩擦性能 | 第50-55页 |
| ·结论 | 第55-57页 |
| 第5章 W-Mo-N 复合膜的微结构、力学性能和摩擦性能研究 | 第57-71页 |
| ·引言 | 第57页 |
| ·实验材料及方法 | 第57-58页 |
| ·薄膜制备 | 第57-58页 |
| ·薄膜表征 | 第58页 |
| ·实验结果与讨论 | 第58-70页 |
| ·薄膜的成分及微结构 | 第58-61页 |
| ·力学性能 | 第61-64页 |
| ·摩擦性能 | 第64-70页 |
| ·结论 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-80页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81页 |