| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| Contents | 第11-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-27页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·纳米复合膜 | 第14-15页 |
| ·纳米多层膜 | 第15-17页 |
| ·研究背景 | 第15-16页 |
| ·研究现状与进展 | 第16-17页 |
| ·致硬机理 | 第17-20页 |
| ·纳米复合薄膜致硬机理 | 第17-18页 |
| ·纳米多层膜致硬机理 | 第18-19页 |
| ·共格应变理论 | 第19页 |
| ·模量差异致硬 | 第19-20页 |
| ·Hall-patch 强化效应 | 第20页 |
| ·纳米多层膜性能 | 第20-24页 |
| ·调制周期对纳米多层膜力学效应影响的研究 | 第20-21页 |
| ·离子轰击对纳米多层膜硬度的影响 | 第21-22页 |
| ·膜层材料对纳米多层膜硬度的影响 | 第22页 |
| ·纳米多层膜的摩擦磨损性能 | 第22-23页 |
| ·纳米多层膜的热稳定性 | 第23页 |
| ·纳米多层膜的发展趋势 | 第23-24页 |
| ·选题意义与研究内容 | 第24-27页 |
| ·选题意义 | 第24-25页 |
| ·研究内容 | 第25-27页 |
| 第2章 薄膜的制备与表征 | 第27-33页 |
| ·薄膜的制备 | 第27-28页 |
| ·实验设备 | 第27页 |
| ·薄膜基片处理方法 | 第27-28页 |
| ·薄膜的表征方法及设备 | 第28-33页 |
| ·X 射线衍射仪(XRD) | 第28页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第28-29页 |
| ·能量色散谱仪(EDS) | 第29页 |
| ·纳米综合力学测试仪 | 第29-31页 |
| ·摩擦磨损试验机 | 第31-33页 |
| 第3章 CrN 薄膜、CrSiN 薄膜微观结构力学性能和摩擦性能 | 第33-47页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·实验过程 | 第33-35页 |
| ·CrN 薄膜的测试结果 | 第35-38页 |
| ·CrN 薄膜的微观组织 | 第35页 |
| ·CrN 薄膜的硬度 | 第35-36页 |
| ·CrN 薄膜的的摩擦性能 | 第36-38页 |
| ·CrSiN 薄膜的测试结果 | 第38-46页 |
| ·薄膜形貌 | 第38-39页 |
| ·CrSiN 薄膜的成分及微观结构 | 第39-41页 |
| ·CrSiN 薄膜的力学性能 | 第41-42页 |
| ·CrSiN 薄膜的摩擦性能 | 第42-46页 |
| ·结论 | 第46-47页 |
| 第4章 C 对 CrCN 薄膜微观组织、力学和摩擦性能的影响 | 第47-55页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·实验方法 | 第47-48页 |
| ·实验结果与讨论 | 第48-54页 |
| ·CrCN 薄膜的微观组织 | 第48-50页 |
| ·CrCN 薄膜的硬度 | 第50-51页 |
| ·CrCN 薄膜的摩擦性能 | 第51-54页 |
| ·结论 | 第54-55页 |
| 第5章 CrAlN 薄膜中 Al 含量对力学和摩擦磨损性能的影响 | 第55-61页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·实验方法 | 第55-56页 |
| ·实验结果及讨论 | 第56-60页 |
| ·CrAlN 薄膜的微观组织 | 第56-58页 |
| ·CrAlN 薄膜的硬度 | 第58-59页 |
| ·CrAlN 薄膜的力学摩擦磨损性能 | 第59-60页 |
| ·结论 | 第60-61页 |
| 第6章 V 含量对 CrSiVN 薄膜微观结构和摩擦性能的影响 | 第61-69页 |
| ·引言 | 第61页 |
| ·实验方法 | 第61-62页 |
| ·实验结果及讨论 | 第62-68页 |
| ·CrSiVN 薄膜的微观组织 | 第62-64页 |
| ·CrSiVN 薄膜的硬度 | 第64-65页 |
| ·CrSiVN 薄膜的摩擦性能 | 第65-68页 |
| ·结论 | 第68-69页 |
| 第7章 W 含量对 CrSiWN 薄膜微观结构、力学及摩擦性能的影响 | 第69-77页 |
| ·引言 | 第69页 |
| ·实验方法 | 第69-70页 |
| ·实验结果及讨论 | 第70-75页 |
| ·CrSiWN 薄膜的微观组织 | 第70-72页 |
| ·CrSiWN 薄膜的硬度和弹性模量 | 第72-73页 |
| ·CrSiWN 薄膜的室温摩擦性能 | 第73-75页 |
| ·结论 | 第75-77页 |
| 结论 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-86页 |
| 攻读硕士期间论文发表情况 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87页 |
