| 摘要 | 第1-3页 |
| Summary | 第3-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-18页 |
| ·研究背景及意义 | 第7-8页 |
| ·氮化物薄膜的国内外研究现状 | 第8-15页 |
| ·氮化物薄膜的研究进展 | 第8-10页 |
| ·氮化物薄膜的制备 | 第10-15页 |
| ·T IALN 薄膜的研究现状 | 第15-16页 |
| ·TiAlN 薄膜的结构，性质及应用 | 第15-16页 |
| ·TiAlN 薄膜存在的问题 | 第16页 |
| ·本文的研究内容和试验方法 | 第16-18页 |
| 第2章 N_2流量对 TIALN 薄膜结构及性能的影响 | 第18-24页 |
| ·实验过程 | 第18-19页 |
| ·TiAlN 薄膜的制备 | 第18-19页 |
| ·TiAlN 薄膜的结构及性能表征 | 第19页 |
| ·结果与讨论 | 第19-23页 |
| ·沉积速率与 Al/Ti 比 | 第19-20页 |
| ·物相与成分分析 | 第20-21页 |
| ·薄膜的微观结构与截面形貌 | 第21-22页 |
| ·薄膜的结合力与硬度 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 SI 含量对 TIALSIN 薄膜结构及性能的影响 | 第24-36页 |
| ·实验过程 | 第24-27页 |
| ·TiAlSiN 薄膜的制备 | 第24-25页 |
| ·TiAlSiN 薄膜的结构及性能表征 | 第25-27页 |
| ·结果与讨论 | 第27-34页 |
| ·化学组成与化学结构 | 第27-28页 |
| ·薄膜的晶体结构 | 第28-30页 |
| ·薄膜的机械性能 | 第30-31页 |
| ·薄膜的高温抗氧化性能 | 第31-34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 第4章 ALSI 含量对 TIALSIN 薄膜的摩擦学性能影响 | 第36-42页 |
| ·实验过程 | 第36-37页 |
| ·TiAlSiN 薄膜的制备 | 第36页 |
| ·TiAlSiN 薄膜的结构及性能表征 | 第36-37页 |
| ·结果与讨论 | 第37-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第5章 TIAL(CR,MO,V,Y)N薄膜结构及性能的影响 | 第42-46页 |
| ·实验过程 | 第42-43页 |
| ·TiAl(Cr,Mo,V,Y)N 薄膜的制备 | 第42页 |
| ·TiAl(Cr,Mo,V,Y)N 薄膜的摩擦学性能表征 | 第42-43页 |
| ·结果与讨论 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第6章 研究工作总结 | 第46-49页 |
| ·研究结论 | 第46-47页 |
| ·创新点 | 第47页 |
| ·论文的存在问题和今后工作的研究重点 | 第47-49页 |
| 参考文献 | 第49-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 作者简介 | 第57-58页 |
| 导师简介 | 第58-59页 |
