用于生物传感器的纳米氧化镁薄膜的制备及特性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-12页 |
| ·课题研究背景 | 第8-10页 |
| ·课题研究的意义和目的 | 第10-11页 |
| ·本文研究内容 | 第11-12页 |
| 2 生物传感器简介 | 第12-18页 |
| ·传感器 | 第12页 |
| ·生物传感器 | 第12-13页 |
| ·半导体生物传感器 | 第13-17页 |
| ·半导体生物传感器的特点 | 第14页 |
| ·MOS场效应晶体管 | 第14页 |
| ·SiO_2栅介材料的局限 | 第14-16页 |
| ·高介电常数栅介质材料的要求 | 第16-17页 |
| ·本章总结 | 第17-18页 |
| 3 磁控溅射成膜的均匀性研究 | 第18-26页 |
| ·纳米薄膜的制备方法 | 第18-21页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第18页 |
| ·溶胶—凝胶法 | 第18页 |
| ·溅射法 | 第18-21页 |
| ·磁控溅射成膜的均匀性研究 | 第21-24页 |
| ·理论研究 | 第21-23页 |
| ·实验研究 | 第23页 |
| ·实验结果 | 第23-24页 |
| ·本章总结 | 第24-26页 |
| 4 纳米氧化镁薄膜的制备 | 第26-29页 |
| ·纳米氧化镁薄膜制备方法的研究现状 | 第26页 |
| ·氧化镁制备过程及条件 | 第26-27页 |
| ·氧化镁薄膜表征 | 第27-28页 |
| ·本章总结 | 第28-29页 |
| 5 纳米MgO薄膜做生物传感器栅介质的性能研究 | 第29-34页 |
| ·理论分析 | 第29-30页 |
| ·实验分析 | 第30-32页 |
| ·本章总结 | 第32-34页 |
| 结论 | 第34-35页 |
| 参考文献 | 第35-38页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第38-39页 |
| 致谢 | 第39-40页 |
