含非均匀介质的光学系统的成像仿真与像质评价
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| ·非均匀介质的定义 | 第9页 |
| ·非均匀介质的发展背景 | 第9-13页 |
| ·渐变折射率介质的发展背景 | 第9-11页 |
| ·随机折射率介质的发展背景 | 第11-13页 |
| ·本文的研究内容 | 第13-14页 |
| 2 非均匀介质折射率场的描述方法 | 第14-23页 |
| ·光学玻璃的非均匀性 | 第14-16页 |
| ·光学玻璃折射率非均匀性的测量 | 第16-18页 |
| ·有限元法 | 第18-20页 |
| ·多项式拟合法 | 第20-23页 |
| 3 非均匀介质中光传输仿真方法 | 第23-30页 |
| ·光线方程 | 第23-24页 |
| ·数值方法介绍 | 第24-25页 |
| ·龙格-库塔法求解光线方程 | 第25-26页 |
| ·边界处理 | 第26-30页 |
| ·非均匀介质的前边界 | 第27页 |
| ·非均匀介质的后边界 | 第27-30页 |
| 4 模拟仿真方法验证 | 第30-37页 |
| ·验证系统结构 | 第30-31页 |
| ·利用干涉图数据代替非均匀材料 | 第31-34页 |
| ·对材料的非均匀性进行拟合 | 第34-37页 |
| 5 实际光学系统的仿真 | 第37-47页 |
| ·简单系统 | 第37-40页 |
| ·复杂光学系统 | 第40-47页 |
| ·系统结构 | 第40-41页 |
| ·光刻镜头的材料用非均匀模型表示 | 第41-42页 |
| ·替换单个透镜的材料 | 第42-43页 |
| ·替换所有透镜的材料 | 第43-44页 |
| ·平移透镜 | 第44-45页 |
| ·旋转透镜 | 第45-47页 |
| 6 含非均匀介质的光学系统优化 | 第47-57页 |
| ·结构参数和评价函数的表示 | 第47-48页 |
| ·平移量的优化 | 第48-50页 |
| ·旋转量的优化 | 第50-57页 |
| 7 总结和展望 | 第57-59页 |
| ·总结 | 第57页 |
| ·展望 | 第57-58页 |
| ·创新点 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 作者简历 | 第62页 |
| 硕士在读期间发表的论文 | 第62页 |
