光学薄膜厚度及性能的测试
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-12页 |
| ·课题背景及意义 | 第7-8页 |
| ·薄膜光学常数及性能测试的研究现状 | 第8-10页 |
| ·传统薄膜光学常数的测量方法 | 第8-10页 |
| ·薄膜光学性能测试的研究现状 | 第10页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第10-11页 |
| ·本章小结 | 第11-12页 |
| 2 薄膜光学特性及参数测试原理 | 第12-26页 |
| ·薄膜光学的特性计算 | 第12-14页 |
| ·单层膜的透射率计算 | 第12-13页 |
| ·多层薄膜的透射率 | 第13-14页 |
| ·薄膜厚度的测量原理 | 第14-20页 |
| ·目测法 | 第14-15页 |
| ·石英晶体监控法 | 第15-16页 |
| ·光度法 | 第16-17页 |
| ·干涉法 | 第17-18页 |
| ·椭偏法 | 第18-19页 |
| ·轮廓法 | 第19-20页 |
| ·薄膜的偏振及各项异性 | 第20-25页 |
| ·棱镜偏振分光膜 | 第20-22页 |
| ·雕塑薄膜的各项异性 | 第22-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 3 薄膜台阶板的厚度测量 | 第26-39页 |
| ·薄膜台阶板的制作 | 第26-27页 |
| ·不同仪器测试薄膜厚度 | 第27-34页 |
| ·接触式轮廓仪的测试 | 第27-29页 |
| ·白光轮廓仪的测试 | 第29-30页 |
| ·分光光度计的测试 | 第30-32页 |
| ·椭偏仪的测试 | 第32-34页 |
| ·测试结果对比分析 | 第34-38页 |
| ·重复性实验测试及随机误差的抑制 | 第34-36页 |
| ·测量不确定度与系统误差的判定 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 4 棱镜偏振分光膜性能测试及工装设计 | 第39-51页 |
| ·棱镜偏振分光膜的设计与制备 | 第39-43页 |
| ·棱镜偏振分光膜的设计 | 第39-40页 |
| ·偏振分光棱镜的制备 | 第40-43页 |
| ·分光膜测试方法及工装设计 | 第43-50页 |
| ·偏振特性的测量 | 第43-45页 |
| ·透射率光谱的分析 | 第45-48页 |
| ·入射角度对分光特性的影响 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 5 斜沉积雕塑薄膜的测试 | 第51-57页 |
| ·斜沉积雕塑薄膜的制备 | 第51-52页 |
| ·沉积角度对雕塑薄膜的影响 | 第52-56页 |
| ·沉积角度对透射率的影响 | 第52-53页 |
| ·雕塑薄膜的偏振效应 | 第53-54页 |
| ·雕塑薄膜的面内双折射效应 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 6 总结与展望 | 第57-59页 |
| ·本文工作总结 | 第57页 |
| ·不足和展望 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
