| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·MEMS 谐振器 | 第8-10页 |
| ·压阻式硅 MEMS 谐振器及其发展现状 | 第10-13页 |
| ·本文的研究内容 | 第13-14页 |
| 2 压阻式硅MEMS谐振器的工作原理 | 第14-21页 |
| ·压阻式硅 MEMS 谐振器工作原理 | 第14-18页 |
| ·压阻式硅 MEMS 谐振器的机电耦合小信号模型 | 第18-19页 |
| ·压阻式硅 MEMS 谐振器的关键参数 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 3 压阻式硅MEMS谐振器的有限元模拟 | 第21-41页 |
| ·多物理场耦合软件 COMSOLMULTIPHYSICS 简介 | 第21页 |
| ·压阻式硅 M E MS 谐振器模型 | 第21-25页 |
| ·压阻式硅 M E MS 谐振器的谐振特性 | 第25-36页 |
| ·压阻式硅 M E MS 谐振器的优化 | 第36-38页 |
| ·考虑工艺误差的仿真 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 压阻式硅MEMS谐振器的工艺仿真 | 第41-60页 |
| ·二维工艺模拟器 ATHENA 简介 | 第41-42页 |
| ·SOI 衬底制备压阻式硅 MEMS 谐振器的工艺仿真 | 第42-52页 |
| ·工艺模拟优化 | 第52-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 5 总结 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |