| 中文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·纳米科技国内外发展动态 | 第8-11页 |
| ·纳米计量与量值溯源 | 第11-13页 |
| ·激光聚焦纳米测量方法的发展 | 第13-15页 |
| ·课题研究意义及主要内容 | 第15-18页 |
| 第二章 激光聚焦式纳米计量系统的原理与构成 | 第18-36页 |
| ·激光聚焦式纳米计量系统的构成原理 | 第18-25页 |
| ·系统的总体构成原理 | 第18-20页 |
| ·纳米测量机的系统原理与结构 | 第20-23页 |
| ·激光聚焦探针系统的基本原理 | 第23-25页 |
| ·激光聚焦式纳米计量系统的软件分析 | 第25-30页 |
| ·激光聚焦式纳米计量系统的计量性能 | 第30-34页 |
| ·激光聚焦式纳米计量系统的溯源性 | 第31-32页 |
| ·激光聚焦式纳米计量系统的误差来源分析 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 第三章 激光聚焦式测头的测量性能 | 第36-50页 |
| ·激光聚焦式测头与纳米定位机的配合 | 第36-38页 |
| ·激光反射率、折射率对测量性能的影响 | 第38-43页 |
| ·激光聚焦光斑对测量结果的影响 | 第43-48页 |
| ·蝠翼效应分析 | 第44-45页 |
| ·蝠翼效应测量及评价 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 激光聚焦式纳米计量系统的测量不确定度评价 | 第50-64页 |
| ·台阶、栅格的测量评价方法 | 第50-54页 |
| ·台阶评价方法 | 第50-52页 |
| ·一维栅格、二维栅格测量评价方法 | 第52-54页 |
| ·测量不确定度来源分析 | 第54-57页 |
| ·测量不确定度评价 | 第57-63页 |
| ·VLSI 制造 180nm 台阶测量不确定度评价 | 第57-61页 |
| ·8nm、300nm 台阶实测数据及相关 EN 比对 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 结论与展望 | 第64-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |