| 摘要 | 第1-13页 |
| ABSTRACT | 第5-13页 |
| 注释表 | 第13-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-28页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·集成电路的发展 | 第15页 |
| ·高 K 材料的发展概况 | 第15-18页 |
| ·摩尔定律的瓶颈 | 第15-16页 |
| ·晶体管简介 | 第16-17页 |
| ·高 K 材料 | 第17-18页 |
| ·稀土高 K 材料的优势 | 第18页 |
| ·薄膜制备技术 | 第18-23页 |
| ·电镀 | 第18页 |
| ·化学镀 | 第18-19页 |
| ·物理气相沉积 | 第19页 |
| ·化学气相沉积 | 第19页 |
| ·原子层沉积 | 第19-23页 |
| ·ALD 的原理 | 第20-21页 |
| ·“ALD 窗口” | 第21页 |
| ·ALD 技术的优点 | 第21页 |
| ·ALD 技术制备高 K 材料 | 第21-22页 |
| ·ALD 前驱体——成功 ALD 过程的关键 | 第22-23页 |
| ·稀土配合物 | 第23-27页 |
| ·稀土化学基本原理 | 第23-24页 |
| ·稀土配合物合成实例 | 第24-27页 |
| ·苯甲脒型二配位的钇的一氯化物及衍生物的合成 | 第24-26页 |
| ·胍基型稀土配合物的合成 | 第26-27页 |
| ·本文研究的内容 | 第27-28页 |
| 第二章 均配型酰胺基稀土配合物的合成的表征 | 第28-58页 |
| ·引言 | 第28-32页 |
| ·实验部分 | 第32-41页 |
| ·实验试剂 | 第32-33页 |
| ·实验仪器 | 第33页 |
| ·溶剂和试剂的处理 | 第33-34页 |
| ·分析和测试 | 第34-35页 |
| ·稀土含量分析 | 第34页 |
| ·碳,氢和氮含量的分析 | 第34页 |
| ·熔点测定 | 第34页 |
| ·~1H NMR 谱分析 | 第34页 |
| ·~(13)C{H} NMR 谱分析 | 第34页 |
| ·晶体结构测定 | 第34-35页 |
| ·原料的合成 | 第35页 |
| ·无水三氯化镧的制备 | 第35页 |
| ·二(三甲基硅)胺基锂的制备 | 第35页 |
| ·La[N(SiMe_3)_2]_3 的合成 | 第35页 |
| ·配体的合成 | 第35-38页 |
| ·异丁酰氯的合成 | 第35页 |
| ·三甲基乙酰氯的合成 | 第35-36页 |
| ·N-异丙基苯甲酰胺(1a)的合成 | 第36页 |
| ·N-叔丁基苯甲酰胺(1b)的合成 | 第36页 |
| ·N-环己基苯甲酰胺(1c)的合成 | 第36-37页 |
| ·N-异丁基苯甲酰胺(1d)的合成 | 第37页 |
| ·N-环己基异丁酰胺(1e)的合成 | 第37-38页 |
| ·N-叔丁基异丁酰胺(1f)的合成 | 第38页 |
| ·N-异丙基三甲基乙酰胺(1g)的合成 | 第38页 |
| ·均配型酰胺基稀土镧配合物的合成 | 第38-41页 |
| ·La[i-Pr(NCO)Ph]_3·C_7H_8 (2a)配合物的合成 | 第38-39页 |
| ·La[t-Bu(NCO)Ph]_3 (2b)配合物的合成 | 第39页 |
| ·La[C_6H_(11)(NCO)Ph]_3·C_7H_8 (2c)配合物的合成 | 第39页 |
| ·La[i-Bu(NCO)Ph]_3 (2d)配合物的合成 | 第39-40页 |
| ·La[C_6H_(11)(NCO)i-Pr]_3 (2e)配合物的合成 | 第40页 |
| ·La[t-Bu(NCO)i-Pr]_3 (2f)配合物的合成 | 第40页 |
| ·La[i-Pr(NCO)t-Bu]_3 (2g)配合物的合成 | 第40-41页 |
| ·结果与讨论 | 第41-58页 |
| ·实验方案的选择 | 第41-43页 |
| ·配体的选择 | 第41页 |
| ·配合物合成方案 | 第41-43页 |
| ·测试结果分析 | 第43-58页 |
| ·稀土元素的含量分析 | 第43-44页 |
| ·核磁共振 | 第44-45页 |
| ·热重分析(TG-DSC) | 第45页 |
| ·X-射线单晶衍射 | 第45-58页 |
| 第三章 阴离子型酰胺基稀土/碱金属配合物的合成与表征 | 第58-85页 |
| ·引言 | 第58-59页 |
| ·实验部分 | 第59-64页 |
| ·实验试剂 | 第59页 |
| ·实验仪器 | 第59页 |
| ·溶剂和试剂的处理 | 第59-60页 |
| ·分析和测试 | 第60页 |
| ·稀土含量分析 | 第60页 |
| ·碳,氢和氮含量的分析 | 第60页 |
| ·熔点测定 | 第60页 |
| ·晶体结构测定 | 第60页 |
| ·原料制备 | 第60-61页 |
| ·无水三氯化钆的制备 | 第60-61页 |
| ·配体的合成 | 第61页 |
| ·阴离子型酰胺基稀土/碱金属配合物的合成 | 第61-64页 |
| ·GdLi[i-Pr(NCO)Ph]_4 (3a)配合物的合成 | 第61页 |
| ·Gd_2Li_2[t-Bu(NCO)Ph]_8·C_7H_8 (3b)配合物的合成 | 第61页 |
| ·Gd_2Li_2[C_6H_(11)(NCO)Ph]_8·2C_7H_8 (3c)配合物的合成 | 第61-62页 |
| ·GdLi[i-Bu(NCO)Ph]_4 (3d)配合物的合成 | 第62页 |
| ·GdLi[C_6H_(11)(NCO)i-Pr]_4 (3e)配合物的合成 | 第62页 |
| ·GdLi[t-Bu(NCO)i-Pr]_4 (3f)配合物的合成 | 第62页 |
| ·GdLi[i-Pr(NCO)t-Bu]_4 (3g)配合物的合成 | 第62-64页 |
| ·结果与讨论 | 第64-85页 |
| ·实验方案 | 第64-65页 |
| ·测试结果分析 | 第65-85页 |
| ·稀土元素的含量分析 | 第65-66页 |
| ·X-射线单晶衍射 | 第66-85页 |
| 第四章 总结与展望 | 第85-87页 |
| ·总结 | 第85页 |
| ·展望 | 第85-87页 |
| 参考文献 | 第87-93页 |
| 致谢 | 第93-94页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第94页 |
