电容式微机械陀螺外围接口电路的设计与测试
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| ·陀螺仪简介 | 第9-15页 |
| ·微机械陀螺仪国内发展现状 | 第9-12页 |
| ·微机械陀螺仪国外发展现状 | 第12-15页 |
| ·硅微机械陀螺仪外围接口电路概述 | 第15-17页 |
| ·论文研究的意义 | 第17-18页 |
| ·论文工作内容 | 第18-20页 |
| 第二章 硅微机械陀螺仪工作原理及等效电学模型 | 第20-36页 |
| ·振动式微机械陀螺工作原理 | 第20-22页 |
| ·微机械陀螺中的静电驱动 | 第22-24页 |
| ·硅微传感器微弱信号检测技术 | 第24-27页 |
| ·差分电容检测原理 | 第24-25页 |
| ·电容检测技术分类 | 第25-27页 |
| ·硅微机械陀螺等效电学模型 | 第27-35页 |
| ·电学模型与电学方程的等效性 | 第27-28页 |
| ·驱动电学模型 | 第28-30页 |
| ·检测电学模型 | 第30-31页 |
| ·陀螺整体电学模型的模拟 | 第31-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 电容式微机械陀螺仪驱动接口电路研究 | 第36-47页 |
| ·驱动电路概述 | 第36页 |
| ·开环驱动电路 | 第36-39页 |
| ·闭环自激驱动电路 | 第39-45页 |
| ·直流电压生成电路 | 第39-40页 |
| ·反相驱动信号生成电路 | 第40页 |
| ·C/V 转换电路 | 第40-42页 |
| ·带通滤波电路 | 第42页 |
| ·移相电路 | 第42-43页 |
| ·全波整流电路 | 第43-44页 |
| ·自动增益电路 | 第44-45页 |
| ·自激驱动电路电学模型模拟 | 第45-47页 |
| 第四章 电容式微机械陀螺仪检测技术研究 | 第47-59页 |
| ·电容检测电路的设计 | 第47-52页 |
| ·高频信号产生电路 | 第47-48页 |
| ·反相电路 | 第48-49页 |
| ·差分放大电路 | 第49页 |
| ·90°相移电路 | 第49-50页 |
| ·解调电路 | 第50-51页 |
| ·低通滤波电路 | 第51-52页 |
| ·静态电容测试 | 第52-55页 |
| ·动态电容检测电路 | 第55-56页 |
| ·动态检测与静态检测的比较 | 第55页 |
| ·温度补偿电路 | 第55-56页 |
| ·陀螺检测电路仿真分析 | 第56-57页 |
| ·系统噪声分析 | 第57-59页 |
| 第五章 厚膜混合集成电路的设计 | 第59-68页 |
| ·集成电路概述 | 第59-60页 |
| ·电容式硅微陀螺厚膜混合集成系统方案设计 | 第60-63页 |
| ·整体方案设计 | 第60页 |
| ·厚膜混合电路的设计 | 第60-61页 |
| ·电路板平面化 | 第61页 |
| ·材料选择 | 第61-62页 |
| ·厚膜图形的设计 | 第62-63页 |
| ·厚膜混合集成电路工艺研究 | 第63-66页 |
| ·丝网印刷 | 第63-64页 |
| ·厚膜电路的烧结 | 第64-65页 |
| ·元件贴装 | 第65-66页 |
| ·厚膜混合电路的封装与测试 | 第66-68页 |
| 第六章 总结与展望 | 第68-70页 |
| ·论文主要内容总结 | 第68-69页 |
| ·展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 附录1 | 第75-76页 |
| 附录2 | 第76-77页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
