摘要 | 第1-4页 |
Abstract | 第4-7页 |
第一章 前言 | 第7-11页 |
·超导电性概述 | 第7页 |
·高温超导本征约瑟夫森结及本征约瑟夫森效应 | 第7-9页 |
·超导器件在太赫兹(THz)波段的应用 | 第9-11页 |
第二章 双面本征结的制备工艺及其应用 | 第11-18页 |
·本征结的双面工艺 | 第11-14页 |
·双面工艺本征结的电输运特性和高频特性 | 第14-18页 |
第三章 大尺寸高台结构本征结的制作及特性 | 第18-31页 |
·基于本征结的太赫兹振荡源 | 第18-19页 |
·大尺寸高台(mesa)结构本征结的制作工艺 | 第19-23页 |
·太赫兹振荡源的测试系统 | 第23-31页 |
第四章 Bi_2Sr_2CaCu_2O_(8+x)单晶用于制作THz人工特异材料(metamaterial) | 第31-37页 |
·THz metamaterial介绍 | 第31页 |
·强各向异性层状结构超导体与约瑟夫森等离子体振荡 | 第31-33页 |
·实验情况 | 第33-37页 |
第五章 氩离子铣技术 | 第37-42页 |
·离子溅射理论 | 第37页 |
·刻蚀速率的研究 | 第37-39页 |
·台阶侧壁形貌的研究 | 第39-41页 |
·验证 | 第41-42页 |
第六章 总结 | 第42-43页 |
参考文献 | 第43-47页 |
硕士期间研究成果(2008-2011) | 第47-48页 |
致谢 | 第48-49页 |