| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 绪论 | 第11-14页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·透明导电薄膜简介 | 第12-14页 |
| 第1章 ZnO 薄膜及其透明导电薄膜 | 第14-25页 |
| ·氧化锌薄膜的结构及特征 | 第14-15页 |
| ·ZnO 薄膜的性质及应用 | 第15-17页 |
| ·ZnO 薄膜的光电性质 | 第15-16页 |
| ·ZnO 薄膜的压电性质 | 第16页 |
| ·ZnO 薄膜的气敏性质 | 第16页 |
| ·ZnO 薄膜的压敏性质 | 第16-17页 |
| ·ZnO 薄膜的应用 | 第17页 |
| ·ZnO 薄膜及透明导电薄膜的制备方法和研究进展 | 第17-23页 |
| ·ZnO 透明导电薄膜的制备方法 | 第17-22页 |
| ·ZnO 透明导电薄膜的研究进展 | 第22-23页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第23-25页 |
| 第2章 溶胶—凝胶法制备掺铝氧化锌薄膜 | 第25-34页 |
| ·溶胶—凝胶法概述 | 第25-29页 |
| ·溶胶—凝胶法的原理 | 第25-26页 |
| ·溶胶—凝胶法制备薄膜的过程 | 第26-27页 |
| ·溶胶—凝胶法的特点 | 第27-28页 |
| ·溶胶—凝胶制备工艺的设备 | 第28-29页 |
| ·掺铝氧化锌透明导电薄膜的制备 | 第29-34页 |
| ·主要原料 | 第30页 |
| ·溶液的配制 | 第30-31页 |
| ·玻璃衬底的清洗 | 第31页 |
| ·旋涂法镀膜 | 第31-32页 |
| ·薄膜的预处理和热处理 | 第32-34页 |
| 第3章 掺铝氧化锌透明导电薄膜的性能测试方法 | 第34-40页 |
| ·XRD（X-ray diffraction）——X 射线衍射 | 第34-35页 |
| ·原子力显微镜 | 第35-36页 |
| ·薄膜透射率的测定——紫外-可见-近红外分光光度计 | 第36-39页 |
| ·薄膜导电性能的测定（四探针电阻测试仪） | 第39-40页 |
| 第4章 性能测试结果的分析与讨论 | 第40-51页 |
| ·掺铝氧化锌透明导电薄膜表面形貌的分析 | 第40-42页 |
| ·溶胶浓度对薄膜表面形貌的影响 | 第40-41页 |
| ·退火温度对薄膜表面形貌的影响 | 第41-42页 |
| ·掺铝氧化锌透明导电薄膜结构的分析 | 第42-45页 |
| ·掺杂浓度对薄膜结构的影响 | 第42-43页 |
| ·退火温度对薄膜结构的影响 | 第43-44页 |
| ·薄膜厚度对薄膜结构的影响 | 第44-45页 |
| ·掺铝氧化锌透明导电薄膜的光学性能的分析 | 第45-48页 |
| ·掺杂浓度对薄膜透射率的影响 | 第45-46页 |
| ·退火温度对薄膜透射率的影响 | 第46-47页 |
| ·薄膜厚度对薄膜透射率的影响 | 第47-48页 |
| ·掺铝氧化锌透明导电薄膜的电学性能的分析 | 第48-51页 |
| ·掺杂浓度对薄膜导电性能的影响 | 第48-49页 |
| ·退火温度对薄膜导电性能的影响 | 第49-50页 |
| ·薄膜厚度对薄膜导电性能的影响 | 第50-51页 |
| 第5章 全文总结和展望 | 第51-53页 |
| ·全文总结 | 第51页 |
| ·展望 | 第51-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 攻读学位期间发表论文以及参加科研情况 | 第57-58页 |