Sol-Gel法制备ZAO薄膜及其性能研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-12页 |
| 绪论 | 第12-14页 |
| ·论文的研究意义与目的 | 第12-13页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第1章 ZAO 的基本性质、研究方法及研究现状 | 第14-28页 |
| ·ZAO 透明导电薄膜的概述 | 第14-16页 |
| ·氧化锌（ZnO）晶体的结构 | 第14-15页 |
| ·氧化锌薄膜的特性 | 第15页 |
| ·掺铝氧化锌薄膜的结构 | 第15-16页 |
| ·ZAO 薄膜的特性 | 第16页 |
| ·ZAO 薄膜的制备方法 | 第16-20页 |
| ·物理方法 | 第16-18页 |
| ·化学方法 | 第18-20页 |
| ·溶胶—凝胶法（Sol-Gel） | 第20-25页 |
| ·溶胶—凝胶法的基本原理 | 第20-21页 |
| ·溶胶—凝胶法的反应过程 | 第21-22页 |
| ·溶胶—凝胶法的具体方法 | 第22-23页 |
| ·溶胶—凝胶法的工艺过程 | 第23-24页 |
| ·溶胶—凝胶法的影响因素 | 第24-25页 |
| ·掺铝氧化锌透明导电薄膜的研究现状 | 第25-28页 |
| ·国外研究现状 | 第26页 |
| ·国内研究现状 | 第26-28页 |
| 第2章 ZAO 薄膜的制备 | 第28-33页 |
| ·薄膜制备的实验设备和器材 | 第28页 |
| ·薄膜制备的实验原料 | 第28-29页 |
| ·薄膜制备过程的工艺 | 第29-33页 |
| ·前驱溶液的制备 | 第29-30页 |
| ·玻璃衬底的处理 | 第30页 |
| ·旋涂 | 第30-31页 |
| ·凝胶膜的干燥及预热处理 | 第31页 |
| ·凝胶膜的热处理 | 第31-33页 |
| 第3章 工艺参数对薄膜性能影响的分析 | 第33-55页 |
| ·工艺参数对光学性能的影响 | 第33-39页 |
| ·溶胶中锌离子浓度对薄膜透射率的影响 | 第33-34页 |
| ·旋涂层数对薄膜透射率的影响 | 第34-35页 |
| ·预热处理温度对薄膜透射率的影响 | 第35-36页 |
| ·热处理温度对薄膜透射率的影响 | 第36页 |
| ·铝的掺杂量对薄膜透射率的影响 | 第36-39页 |
| ·工艺参数对电学性能的影响 | 第39-43页 |
| ·溶胶中锌离子浓度对薄膜电学性能的影响 | 第39-40页 |
| ·旋涂层数对薄膜电学性能的影响 | 第40-41页 |
| ·预热处理温度对薄膜电学性能的影响 | 第41-42页 |
| ·热处理温度对薄膜电学性能的影响 | 第42-43页 |
| ·铝的掺杂量对薄膜电学性能的影响 | 第43页 |
| ·工艺参数对晶体结构的影响 | 第43-48页 |
| ·溶胶中锌离子浓度对 ZAO 晶体结构的影响 | 第45-46页 |
| ·旋涂层数对 ZAO 晶体结构的影响 | 第46-47页 |
| ·热处理温度对 ZAO 晶体结构的影响 | 第47-48页 |
| ·工艺参数对薄膜表面形貌的影响 | 第48-55页 |
| ·溶胶中锌离子浓度对薄膜表面形貌的影响 | 第49-50页 |
| ·旋涂层数对薄膜表面形貌的影响 | 第50-51页 |
| ·热处理温度对薄膜表面形貌的影响 | 第51-53页 |
| ·铝离子掺杂量对薄膜表面形貌的影响 | 第53-55页 |
| 第4章 结论与展望 | 第55-57页 |
| ·结论 | 第55页 |
| ·展望 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
