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Si衬底上Ge/Si岛的有序可控生长与表征

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第一章 绪论第9-19页
   ·低维量子结构材料第9-12页
   ·图形衬底上Ge岛生长的研究进展第12-15页
   ·本论文的主要工作第15-16页
 参考文献第16-19页
第二章 Si基Ge岛生长的理论研究第19-27页
   ·平面衬底上多层Ge/Si岛生长机理研究第19-21页
   ·图形衬底上Ge岛生长机理研究第21-24页
   ·本章小结第24页
 参考文献第24-27页
第三章 UHV/CVD系统在图形衬底上生长Ge/Si岛及其表征第27-41页
   ·UHV/CVD系统及原子力显微镜简介第28-29页
   ·图形衬底上Ge/Si岛的生长第29-31页
   ·实验结果与讨论第31-39页
   ·本章小结第39页
 参考文献第39-41页
第四章 多层Ge/Si岛的生长及其表征第41-52页
   ·表征方法简介第41-44页
   ·多层Ge/Si岛的生长及表征结果第44-50页
   ·本章小结第50页
 参考文献第50-52页
第五章 结语第52-54页
附录:论文发表情况第54-55页
致谢第55页

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