| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-16页 |
| ·课题的研究背景及意义 | 第7-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-14页 |
| ·驱动方式 | 第9-12页 |
| ·运动机构形式 | 第12-13页 |
| ·动力学建模和控制策略 | 第13-14页 |
| ·本文主要内容 | 第14-16页 |
| 第二章 高速精密定位平台性能实验研究 | 第16-29页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·定位平台结构设计 | 第16-18页 |
| ·控制系统开发 | 第18-22页 |
| ·控制系统的组成 | 第18-20页 |
| ·基于LabView 的控制系统开发 | 第20-22页 |
| ·定位平台性能测试实验 | 第22-28页 |
| ·实验平台建立 | 第22页 |
| ·定位平台性能指标测定 | 第22-28页 |
| ·本章总结 | 第28-29页 |
| 第三章 高速精密定位平台控制系统设计与仿真 | 第29-38页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·X 向定位平台机电系统建模 | 第29-32页 |
| ·音圈电机的驱动模型 | 第29-30页 |
| ·X 向定位平台机电系统的数学模型 | 第30-32页 |
| ·控制器设计与仿真 | 第32-37页 |
| ·单闭环控制器 | 第32-33页 |
| ·双闭环控制器 | 第33-34页 |
| ·双闭环前馈控制器 | 第34-35页 |
| ·双闭环前馈抗干扰控制器 | 第35-36页 |
| ·带重复控制器的双闭环前馈抗干扰控制器 | 第36-37页 |
| ·本章总结 | 第37-38页 |
| 第四章 Z 轴运动控制研究和引线键合机控制系统规划 | 第38-46页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·Z 轴运动控制系统研究 | 第38-40页 |
| ·Z 轴运动控制系统的构成 | 第38-39页 |
| ·Z 轴运动控制系统实验研究 | 第39-40页 |
| ·引线键合机控制系统构成和功能介绍 | 第40-43页 |
| ·引线键合机控制系统的构成 | 第40-41页 |
| ·引线键合机控制系统功能介绍 | 第41-43页 |
| ·控制系统关键技术研究 | 第43-45页 |
| ·高速力/位置混和控制方法的研究 | 第43-44页 |
| ·视觉定位系统标定策略研究 | 第44-45页 |
| ·本章总结 | 第45-46页 |
| 第五章 精密气浮定位平台设计与研究 | 第46-57页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·两自由度气浮精密定位解耦平台 | 第46-48页 |
| ·定位平台静态性能分析 | 第48-52页 |
| ·气浮导轨的气膜支撑力和静态刚度 | 第48-52页 |
| ·定位平台共振性能分析 | 第52页 |
| ·定位平台的运动稳定性 | 第52-56页 |
| ·本章总结 | 第56-57页 |
| 第六章 全文总结 | 第57-59页 |
| ·结论 | 第57-58页 |
| ·工作展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |