| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| §1-1 引言 | 第9页 |
| §1-2 ZnO 的晶体结构及p 型 ZnO 制备的困难 | 第9-10页 |
| §1-3 ZnO 的p 型导电特性的实现方法 | 第10-13页 |
| 1-3-1 I 族元素掺杂法 | 第10页 |
| 1-3-2 V 族元素掺杂法 | 第10-11页 |
| 1-3-3 施主-受主共掺法 | 第11-12页 |
| 1-3-4 其他掺杂方法 | 第12-13页 |
| 1-3-5 提供富氧条件方法 | 第13页 |
| §1-4 ZnO 薄膜的制备方法 | 第13-15页 |
| §1-5 ZnO 基pn 结发展现状 | 第15-18页 |
| 1-5-1 ZnO 基pn 异质结介绍 | 第15-16页 |
| 1-5-2 ZnO 基pn 同质结介绍 | 第16-18页 |
| §1-6 论文的主要内容 | 第18-19页 |
| 第二章 ZnO 薄膜的制备及其性能表征 | 第19-27页 |
| §2-1 超声喷雾热分解技术(USP)的基本原理 | 第19-20页 |
| 2-1-1 USP 生长薄膜的主要过程 | 第19-20页 |
| 2-1-2 USP 的四种沉积模式 | 第20页 |
| §2-2 USP 制备ZnO 薄膜 | 第20-24页 |
| 2-2-1 实验设备 | 第20-21页 |
| 2-2-2 前驱液的制备与载气的选择 | 第21页 |
| 2-2-3 衬底的处理 | 第21-22页 |
| 2-2-4 溶质的热解过程 | 第22-24页 |
| §2-3 ZnO 薄膜性能的表征 | 第24-27页 |
| 2-3-1 Hall 测试 | 第25-26页 |
| 2-3-2 XRD 测试 | 第26页 |
| 2-3-3 SIMS 测试 | 第26页 |
| 2-3-4 SEM 测试 | 第26-27页 |
| 第三章 p 型 ZnO 薄膜的获得及其优化制备 | 第27-42页 |
| §3-1 p 型ZnO 薄膜的获得及其特性 | 第27-32页 |
| 3-1-1 衬底温度对ZnO 薄膜导电特性的影响 | 第27-28页 |
| 3-1-2 Al 掺杂比对ZnO 薄膜特性的影响 | 第28-30页 |
| 3-1-3 N-Al 共掺p 型ZnO 薄膜的掺杂情况 | 第30-31页 |
| 3-1-4 N-Al 共掺p 型ZnO 薄膜的发光特性 | 第31-32页 |
| 3-1-5 p 型ZnO 薄膜的获取小结 | 第32页 |
| §3-2 不同生长时间N-Al共掺p型ZnO薄膜特性的研究 | 第32-35页 |
| 3-2-1 ZnO 薄膜厚度随生长时间的变化 | 第33页 |
| 3-2-2 不同生长时间 ZnO 薄膜的电学特性 | 第33页 |
| 3-2-3 XRD 分析 | 第33-34页 |
| 3-2-4 SEM 分析 | 第34-35页 |
| 3-2-5 不同生长时间实验小结 | 第35页 |
| §3-3 同质缓冲层对N-Al共掺p型ZnO薄膜的影响 | 第35-39页 |
| 3-3-1 本征未掺杂 ZnO 层的特点 | 第36-37页 |
| 3-3-2 同质缓冲层对不同Al 掺杂比N-Al 共掺ZnO 薄膜的影响 | 第37-39页 |
| 3-3-3 同质缓冲层实验小结 | 第39页 |
| §3-4 N-K 共掺ZnO 薄膜的制备 | 第39-42页 |
| 3-4-1 N-K 共掺ZnO 薄膜的电学特性 | 第40页 |
| 3-4-2 N-K 共掺ZnO 薄膜的结构特性 | 第40-41页 |
| 3-4-3 N-K 共掺实验小结 | 第41-42页 |
| 第四章 p型 ZnO薄膜在器件中的应用 | 第42-57页 |
| §4-1 ZnO 基p 型透明导电膜的尝试及其在太阳能电池中的初步应用 | 第42-45页 |
| 4-1-1 透明导电膜的电学特性 | 第42-43页 |
| 4-1-2 透明导电膜的结构特性 | 第43-44页 |
| 4-1-3 透明导电膜的光学特性 | 第44页 |
| 4-1-4 p 型透明导电膜在太阳能电池中的初步应用 | 第44-45页 |
| 4-1-5 ZnO 基p 型透明导电膜小结 | 第45页 |
| §4-2 ZnO 基pn 异质结的制备 | 第45-51页 |
| 4-2-1 p-Si/n-ZnO 异质结 | 第45-48页 |
| 4-2-2 n-Si/p-ZnO 异质结 | 第48-50页 |
| 4-2-3 ZnO 基pn 异质结小结 | 第50-51页 |
| §4-3 ZnO 基同质结的制备 | 第51-57页 |
| 4-3-1 ZnO 基同质结的制备方法 | 第51-52页 |
| 4-3-2 各种类型Si 衬底上np 和pn 同质结的尝试 | 第52-56页 |
| 4-3-3 Si 衬底上ZnO 基同质结小结 | 第56-57页 |
| 第五章 结论 | 第57-59页 |
| §5-1 主要结论 | 第57-58页 |
| §5-2 有待于进一步开展的工作 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第64页 |
