薄膜体声波滤波器的研究和设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| ·研究背景 | 第9-11页 |
| ·FBAR 的发展 | 第11-13页 |
| ·FBAR 的主流结构 | 第13-15页 |
| ·FBAR 的材料选择 | 第15-17页 |
| ·压电层材料 | 第15-16页 |
| ·电极材料 | 第16页 |
| ·牺牲层材料 | 第16-17页 |
| ·支撑层材料 | 第17页 |
| ·论文的架构 | 第17-18页 |
| 第二章 FBAR 谐振器建模及仿真 | 第18-41页 |
| ·FBAR 等效电路分析 | 第18-25页 |
| ·电学模型推导 | 第18-23页 |
| ·损耗分析 | 第23-25页 |
| ·FBAR 电路模型建立 | 第25-30页 |
| ·Mason 等效模型建立 | 第25-28页 |
| ·MBVD 等效模型建立 | 第28-30页 |
| ·FBAR 谐振器的仿真 | 第30-38页 |
| ·FBAR 器件版图 | 第38-40页 |
| ·小结 | 第40-41页 |
| 第三章 FBAR 滤波器建模及仿真 | 第41-61页 |
| ·FBAR 滤波器建模 | 第41-45页 |
| ·FBAR 梯形滤波器模型 | 第41-43页 |
| ·FBAR 网型滤波模型 | 第43-44页 |
| ·FBAR 层叠型和耦合型滤波器模型 | 第44-45页 |
| ·FBAR 滤波器仿真设计 | 第45-58页 |
| ·FBAR 设计流程总结和前期问题 | 第45-47页 |
| ·FBAR 滤波器仿真设计 | 第47-58页 |
| ·滤波器版图 | 第58-60页 |
| ·小结 | 第60-61页 |
| 第四章 FBAR 器件的实现与测试 | 第61-79页 |
| ·FBAR 工艺流程概述 | 第61-62页 |
| ·FBAR 工艺难点分析 | 第62-75页 |
| ·牺牲层平坦化 | 第62-66页 |
| ·压电震荡堆的刻蚀 | 第66-72页 |
| ·牺牲层的释放 | 第72-75页 |
| ·FBAR 成品测试分析 | 第75-78页 |
| ·小结 | 第78-79页 |
| 第五章 总结和展望 | 第79-81页 |
| ·总结 | 第79-80页 |
| ·展望 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-85页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第85-86页 |
