压电微压传感器
第一章 绪论 | 第1-16页 |
·压电式传感器 | 第9页 |
·压电式压力传感器的发展现状 | 第9-14页 |
·压电爆震传感器 | 第10-11页 |
·振梁式压电压力传感器 | 第11-12页 |
·检测切削状态的压电压力传感器 | 第12-13页 |
·振筒式压电压力传感器 | 第13页 |
·音叉式压电压力传感器 | 第13-14页 |
·论文选题及意义 | 第14-15页 |
·论文工作介绍 | 第15-16页 |
第二章 压电微压传感器的设计与制作 | 第16-23页 |
·传感器的工作原理 | 第16-17页 |
·传感器的结构 | 第17-18页 |
·敏感元件 | 第18-20页 |
·传感器工作电路 | 第20页 |
·传感器的制作 | 第20-22页 |
·铝壳、塑料支架、垫圈和盖板抽检 | 第21页 |
·场效应管的抽检 | 第21页 |
·敏感元件 | 第21页 |
·管芯组装 | 第21页 |
·总装 | 第21-22页 |
·小结 | 第22-23页 |
第三章 压电微压传感器敏感元件有限元分析 | 第23-35页 |
·压电体的有限元方程 | 第23-27页 |
·ANSYS软件有限元分析的过程 | 第27-28页 |
·建模 | 第27页 |
·前处理 | 第27页 |
·施加载荷并求解 | 第27页 |
·后处理 | 第27-28页 |
·敏感元件有限元分析的具体步骤 | 第28-31页 |
·建模 | 第28页 |
·输入材料参数、选择单元类型 | 第28-29页 |
·划分网格和加载约束条件 | 第29-31页 |
·求解 | 第31页 |
·后处理,查看各阶模态图形 | 第31页 |
·实验分析 | 第31-33页 |
·测量原理 | 第31-32页 |
·实验测试 | 第32-33页 |
·结果分析 | 第33-34页 |
·小结 | 第34-35页 |
第四章 传感器的静态性能分析 | 第35-41页 |
·传感器的静态特性 | 第35-38页 |
·线性度(非线性误差) | 第36-37页 |
·灵敏度 | 第37页 |
·重复性 | 第37-38页 |
·静态性能实验 | 第38-40页 |
·静态性能测试 | 第38-39页 |
·结果分析 | 第39-40页 |
·小结 | 第40-41页 |
第五章 传感器的动态测试系统 | 第41-49页 |
·激波管 | 第41-43页 |
·快速阀门和爆膜装置 | 第43-44页 |
·正弦压力讯号发生器 | 第44-47页 |
·谐振空腔校验器 | 第44-45页 |
·非谐振空腔校验器 | 第45-46页 |
·喇叭式压力发生器 | 第46-47页 |
·压电微压传感器动态测试系统 | 第47-48页 |
·小结 | 第48-49页 |
第六章 压电微压传感器灵敏度及频响测量 | 第49-55页 |
·油腔测量法 | 第49-51页 |
·测量系统 | 第49页 |
·原理 | 第49-50页 |
·实验及结果 | 第50页 |
·分析及讨论 | 第50-51页 |
·空气腔测量方法 | 第51-54页 |
·空气腔设计 | 第51-53页 |
·实验及结果 | 第53-54页 |
·讨论 | 第54页 |
·油腔与空气腔测试结果比较 | 第54页 |
·小结 | 第54-55页 |
第七章 传感器工作点的测定 | 第55-60页 |
·引言 | 第55页 |
·工作电压和负载电阻对传感器灵敏度的影响 | 第55-56页 |
·灵敏度测量 | 第55-56页 |
·放大器静态工作点测定 | 第56-59页 |
·截止失真 | 第57页 |
·饱和失真 | 第57-58页 |
·静态工作点 | 第58-59页 |
·传感器工作电压和负载电阻的设定 | 第59页 |
·小结 | 第59-60页 |
第八章 总结 | 第60-62页 |
·本文主要研究内容与研究成果 | 第60页 |
·存在问题 | 第60-62页 |
攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第62-63页 |
附录 | 第63-64页 |
参考文献 | 第64-66页 |
致谢 | 第66页 |