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压电微压传感器

第一章 绪论第1-16页
   ·压电式传感器第9页
   ·压电式压力传感器的发展现状第9-14页
     ·压电爆震传感器第10-11页
     ·振梁式压电压力传感器第11-12页
     ·检测切削状态的压电压力传感器第12-13页
     ·振筒式压电压力传感器第13页
     ·音叉式压电压力传感器第13-14页
   ·论文选题及意义第14-15页
   ·论文工作介绍第15-16页
第二章 压电微压传感器的设计与制作第16-23页
   ·传感器的工作原理第16-17页
   ·传感器的结构第17-18页
   ·敏感元件第18-20页
   ·传感器工作电路第20页
   ·传感器的制作第20-22页
     ·铝壳、塑料支架、垫圈和盖板抽检第21页
     ·场效应管的抽检第21页
     ·敏感元件第21页
     ·管芯组装第21页
     ·总装第21-22页
   ·小结第22-23页
第三章 压电微压传感器敏感元件有限元分析第23-35页
   ·压电体的有限元方程第23-27页
   ·ANSYS软件有限元分析的过程第27-28页
     ·建模第27页
     ·前处理第27页
     ·施加载荷并求解第27页
     ·后处理第27-28页
   ·敏感元件有限元分析的具体步骤第28-31页
     ·建模第28页
     ·输入材料参数、选择单元类型第28-29页
     ·划分网格和加载约束条件第29-31页
     ·求解第31页
     ·后处理,查看各阶模态图形第31页
   ·实验分析第31-33页
     ·测量原理第31-32页
     ·实验测试第32-33页
   ·结果分析第33-34页
   ·小结第34-35页
第四章 传感器的静态性能分析第35-41页
   ·传感器的静态特性第35-38页
     ·线性度(非线性误差)第36-37页
     ·灵敏度第37页
     ·重复性第37-38页
   ·静态性能实验第38-40页
     ·静态性能测试第38-39页
     ·结果分析第39-40页
   ·小结第40-41页
第五章 传感器的动态测试系统第41-49页
   ·激波管第41-43页
   ·快速阀门和爆膜装置第43-44页
   ·正弦压力讯号发生器第44-47页
     ·谐振空腔校验器第44-45页
     ·非谐振空腔校验器第45-46页
     ·喇叭式压力发生器第46-47页
   ·压电微压传感器动态测试系统第47-48页
   ·小结第48-49页
第六章 压电微压传感器灵敏度及频响测量第49-55页
   ·油腔测量法第49-51页
     ·测量系统第49页
     ·原理第49-50页
     ·实验及结果第50页
     ·分析及讨论第50-51页
   ·空气腔测量方法第51-54页
     ·空气腔设计第51-53页
     ·实验及结果第53-54页
     ·讨论第54页
     ·油腔与空气腔测试结果比较第54页
   ·小结第54-55页
第七章 传感器工作点的测定第55-60页
   ·引言第55页
   ·工作电压和负载电阻对传感器灵敏度的影响第55-56页
     ·灵敏度测量第55-56页
   ·放大器静态工作点测定第56-59页
     ·截止失真第57页
     ·饱和失真第57-58页
     ·静态工作点第58-59页
   ·传感器工作电压和负载电阻的设定第59页
   ·小结第59-60页
第八章 总结第60-62页
   ·本文主要研究内容与研究成果第60页
   ·存在问题第60-62页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第62-63页
附录第63-64页
参考文献第64-66页
致谢第66页

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