对PDP精密对板系统的研究
| 摘 要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章. 绪论 | 第8-14页 |
| ·课题的研究背景及其意义 | 第8页 |
| ·精密定位技术的国内外现状及发展方向 | 第8-12页 |
| ·高精度位置检测技术的现状 | 第8-11页 |
| ·精密驱动技术的现状 | 第11-12页 |
| ·本课题的研究内容 | 第12-14页 |
| 第2章. 系统原理与总体设计 | 第14-33页 |
| ·双光栅衍射的数学模型 | 第14-22页 |
| ·摩尔条纹的衍射原理 | 第14-16页 |
| ·透射式双级衍射光栅系统平移特性分析 | 第16-20页 |
| ·透射式双级衍射光栅系统角度位移特性分析 | 第20-22页 |
| ·系统的总体实现 | 第22-31页 |
| ·光学检测系统 | 第23页 |
| ·精密机械平台及微动台系统 | 第23-27页 |
| ·光电检测电路设计 | 第27-30页 |
| ·运算控制设备 | 第30-31页 |
| ·系统软件设计 | 第31-33页 |
| 第3章. 精密定位技术的研究 | 第33-44页 |
| ·直线定位技术 | 第34-37页 |
| ·修正式直线定位方式 | 第34-35页 |
| ·差动式直线定位方式 | 第35-36页 |
| ·直接式直线定位方式 | 第36-37页 |
| ·角度定位技术 | 第37-38页 |
| ·直接式平面定位的实现 | 第38-41页 |
| ·直接式直线定位的实现 | 第38-40页 |
| ·直线定位试验结果 | 第40-41页 |
| ·系统精度分析及抗干扰措施 | 第41-44页 |
| 第4章. 精密定位控制技术的研究 | 第44-55页 |
| ·模糊控制在本定位系统中的应用 | 第44-47页 |
| ·模糊控制的基本原理 | 第44-45页 |
| ·精密定位系统模糊控制器的设计 | 第45-46页 |
| ·实验结果 | 第46-47页 |
| ·RBF 神经网络在定位控制中的应用 | 第47-55页 |
| ·RBF 网络的基本原理 | 第47-52页 |
| ·RBF 网络控制器的实现 | 第52-55页 |
| 第5章. 结束语 | 第55-57页 |
| ·本课题的回顾与总结 | 第55页 |
| ·本课题的进一步研究方向 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-60页 |
| 作者在学期间所发表的论文清单 | 第60页 |
