三轴硅微加速度计的集成设计与实现
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| ·MEMS的概述与应用前景 | 第8-9页 |
| ·微加速度计的发展与研究现状 | 第9-13页 |
| ·论文研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 三轴微加速度计的结构设计 | 第15-33页 |
| ·加速度计的工作原理 | 第15-19页 |
| ·线加速度计的工作原理 | 第15-17页 |
| ·摆式加速度计的工作原理 | 第17-19页 |
| ·微加速度计的结构设计 | 第19-28页 |
| ·敏感电容结构设计 | 第19-23页 |
| ·弹性连接结构设计 | 第23-27页 |
| ·灵敏度和最小检测加速度 | 第27-28页 |
| ·微加速度计的阻尼分析 | 第28-32页 |
| ·压膜阻尼 | 第28-31页 |
| ·滑膜阻尼 | 第31-32页 |
| ·本章小节 | 第32-33页 |
| 第三章 三轴微加速度计的集成设计 | 第33-45页 |
| ·系统级建模与仿真 | 第33-37页 |
| ·系统级建模 | 第34-36页 |
| ·系统级仿真分析 | 第36-37页 |
| ·器件级建模与仿真 | 第37-41页 |
| ·静力分析 | 第38-39页 |
| ·模态分析 | 第39-41页 |
| ·工艺级设计 | 第41-44页 |
| ·版图设计 | 第41-43页 |
| ·工艺流程 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 三轴微加速度计接口检测电路设计 | 第45-63页 |
| ·电荷放大器 | 第45-50页 |
| ·检测电路设计 | 第50-61页 |
| ·载波发生电路 | 第51-54页 |
| ·反相电路 | 第54-56页 |
| ·解调电路 | 第56-58页 |
| ·移相电路 | 第58-60页 |
| ·滤波电路 | 第60-61页 |
| ·检测电路测试实验 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 三轴微加速度计的加工及测试 | 第63-67页 |
| ·加工结果 | 第63-64页 |
| ·测试结果 | 第64-66页 |
| ·本章小节 | 第66-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-69页 |
| ·研究工作总结 | 第67页 |
| ·下一步工作展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 硕士期间发表的论文、专利及参与的课题 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 西北工业大学 学位论文知识产权声明书 | 第74页 |
| 西北工业大学 学位论文原创性声明 | 第74页 |
