| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第一章 文献综述 | 第8-23页 |
| 1．1 金刚石的性质及应用 | 第8-11页 |
| 1．1．1 金刚石的性质和结构 | 第8-10页 |
| 1．1．2 金刚石薄膜的应用 | 第10-11页 |
| 1．2 金刚石薄膜的形成机理 | 第11-13页 |
| 1．2．1 反应机理 | 第11-12页 |
| 1．2．2 低压化学气相沉积金刚石薄膜的一般条件 | 第12-13页 |
| 1．3 金刚石的形核 | 第13-16页 |
| 1．3．1 沉积参数对金刚石形核的影响 | 第14-15页 |
| 1．3．2 提高金刚石形核的方法 | 第15-16页 |
| 1．4 金刚石的生长 | 第16-17页 |
| 1．4．1 基体温度 | 第16页 |
| 1．4．2 碳源气体的浓度 | 第16-17页 |
| 1．5 金刚石涂层刀具的研究进展 | 第17-21页 |
| 1．5．1 超硬材料刀具的开发与应用 | 第17-18页 |
| 1．5．2 涂层刀具的发展 | 第18-19页 |
| 1．5．3 CVD金刚石膜在刀具上的应用 | 第19-20页 |
| 1．5．4 硬质合金金刚石涂层刀具的研究进展 | 第20-21页 |
| 1．6 研究的意义和内容 | 第21-23页 |
| 第二章 硬质合金基体/CVD金刚石薄膜的制备 | 第23-29页 |
| 2．1 引言 | 第23页 |
| 2．2 实验装置 | 第23-25页 |
| 2．2．1 热丝 CVD设备装置 | 第23-24页 |
| 2．2．2 灯丝选择和结构设计 | 第24-25页 |
| 2．3 实验材料及样品预处理 | 第25-26页 |
| 2．4 实验过程和参数制定 | 第26-27页 |
| 2．5 样品检测 | 第27-29页 |
| 2．5．1 X射线衍射分析 | 第27-28页 |
| 2．5．2 表面形貌分析 | 第28页 |
| 2．5．3 薄膜附着性能的评估 | 第28页 |
| 2．5．4 成分分析 | 第28-29页 |
| 第三章 生长条件对HFCVD金刚石多晶薄膜的影响 | 第29-48页 |
| 3．1 硬质合金YG6基体处理 | 第29-31页 |
| 3．1．1 预处理后基体表面分析 | 第29-30页 |
| 3．1．2 金刚石膜沉积工艺 | 第30-31页 |
| 3．2 甲烷浓度对金刚石薄膜的影响 | 第31-36页 |
| 3．2．1 金刚石薄膜形貌 | 第31-32页 |
| 3．2．2 甲烷浓度对薄膜织构的影响 | 第32-36页 |
| 3．3 基体温度对金刚石薄膜的影响 | 第36-39页 |
| 3．3．1 不同基体温度对表面形貌的影响 | 第36-38页 |
| 3．3．2 基体温度对金刚石薄膜织构的影响 | 第38-39页 |
| 3．4 沉积气压对金刚石薄膜的影响 | 第39-41页 |
| 3．5 金刚石薄膜织构形成的机理分析 | 第41-47页 |
| 3．6 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 生长条件对金刚石/硬质合金膜基结合强度影响 | 第48-58页 |
| 4．1 薄膜的膜基结合强度测试与表征 | 第48-52页 |
| 4．1．1 膜基结合强度模型 | 第49页 |
| 4．1．2 薄膜的膜基结合强度测量 | 第49-52页 |
| 4．2 甲烷浓度对金刚石薄膜结合强度的影响 | 第52-54页 |
| 4．3 沉积气压对金刚石薄膜结合强度的影响 | 第54-55页 |
| 4．4 衬底温度对金刚石薄膜结合强度的影响 | 第55-57页 |
| 4．5 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 在学期间发表的学术论文 | 第66页 |